| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第10-11页 |
| 缩略语对照表 | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-18页 |
| 1.1 课题研究的背景 | 第14-15页 |
| 1.1.1 近场微波扫描显微镜的介绍 | 第14页 |
| 1.1.2 近场微波扫描显微镜的特点及应用 | 第14-15页 |
| 1.2 近场显微镜国内外研究进展 | 第15-16页 |
| 1.2.1 国外的研究情况 | 第15-16页 |
| 1.2.2 国内的研究情况 | 第16页 |
| 1.3 研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 近场微波扫描显微镜的工作原理 | 第18-28页 |
| 2.1 基本概念 | 第18-19页 |
| 2.1.1 近场的概念 | 第18-19页 |
| 2.1.2 空间分辨率 | 第19页 |
| 2.2 一般近场微波扫描显微镜设计原则 | 第19-22页 |
| 2.2.1 早期的近场微波扫描显微镜 | 第19-20页 |
| 2.2.2 近场微波显微镜的分类 | 第20-21页 |
| 2.2.3 基于有空和无孔探头的两种近场微波扫描显微镜设计方法 | 第21-22页 |
| 2.2.4 近场显微镜的运行模式 | 第22页 |
| 2.3 近场微波扫描显微镜理论 | 第22-25页 |
| 2.3.1 集总参数模型 | 第22-23页 |
| 2.3.2 容性探头分析 | 第23-24页 |
| 2.3.3 探头的传输线模型 | 第24-25页 |
| 2.3.4 谐振腔传输线 | 第25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-28页 |
| 第三章 基于电容加载同轴谐振腔显微镜探头设计 | 第28-48页 |
| 3.1 同轴线谐振腔介绍 | 第28-32页 |
| 3.1.1 二分之一波长（λ/2）同轴线谐振腔 | 第28-30页 |
| 3.1.2 四分之一波长（λ/4）同轴谐振腔 | 第30-31页 |
| 3.1.3 电容加载同轴谐振腔 | 第31-32页 |
| 3.2 近场显微镜探头的结构设计 | 第32-38页 |
| 3.2.2 探头的长度 | 第33-34页 |
| 3.2.3 探头内外导体半径 | 第34-37页 |
| 3.2.4 谐振腔的耦合方式 | 第37-38页 |
| 3.3 近场显微镜探头的设计与优化 | 第38-45页 |
| 3.3.1 显微镜探头模型的确立 | 第38-41页 |
| 3.3.2 耦合环位置与大小的优化 | 第41-43页 |
| 3.3.3 谐振腔长度对谐振频率的影响及优化 | 第43-44页 |
| 3.3.4 开孔尺寸的优化 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-48页 |
| 第四章 近场微波扫描显微镜的性能分析 | 第48-56页 |
| 4.1 空间分辨率分析 | 第48-52页 |
| 4.2 近场显微镜的亚表面探测能力 | 第52-53页 |
| 4.3 样品介电常数和谐振频率的关系 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 工作总结 | 第56页 |
| 5.2 不足与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 作者简介 | 第64-65页 |