| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第10-18页 |
| 1.2.1 配备垂直轴卸荷系统的超精密机床国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 卸荷摩擦对垂直轴静动态性能影响的研究与分析 | 第13-15页 |
| 1.2.3 气体润滑技术与低摩擦气缸的国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 超精密机床垂直轴卸荷系统设计 | 第20-33页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 气体润滑低摩擦气缸整体设计 | 第20-24页 |
| 2.3 上下两端气体静压径向轴承的设计 | 第24-30页 |
| 2.3.1 气体静压径向轴承数学模型建立 | 第24-26页 |
| 2.3.2 气体静压径向轴承参数选取与静态指标计算 | 第26-30页 |
| 2.4 卸荷系统气动回路的设计 | 第30-31页 |
| 2.5 卸荷系统总体设计 | 第31-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 卸荷系统内气体静压轴承的静态性能分析 | 第33-49页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 FLUENT软件介绍 | 第33-34页 |
| 3.2.1 FLUENT软件的应用 | 第33-34页 |
| 3.2.2 FLUENT软件前处理 | 第34页 |
| 3.3 上端气体静压轴承静态性能分析 | 第34-42页 |
| 3.3.1 上端气体静压轴承前处理 | 第34-36页 |
| 3.3.2 偏心率对上端轴承静态性能的影响 | 第36-39页 |
| 3.3.3 径向间隙对上端轴承静态性能的影响 | 第39-41页 |
| 3.3.4 供气压力对上轴承静态性能的影响 | 第41-42页 |
| 3.4 下端气体静压轴承静态性能分析 | 第42-48页 |
| 3.4.1 下端气体静压轴承前处理 | 第42-43页 |
| 3.4.2 径向间隙对下端轴承静态性能的影响 | 第43-46页 |
| 3.4.3 供气压力对下端轴承静态性能的影响 | 第46-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 卸荷系统静动态特性分析 | 第49-64页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 卸荷系统静态特性分析 | 第49-56页 |
| 4.2.1 活塞杆缩回时卸荷系统静态特性分析 | 第49-53页 |
| 4.2.2 活塞杆伸出时卸荷系统静态特性分析 | 第53-56页 |
| 4.3 卸荷系统动态特性分析 | 第56-60页 |
| 4.3.1 活塞杆缩回时卸荷系统模态分析 | 第56-59页 |
| 4.3.2 活塞杆伸出时卸荷系统模态分析 | 第59-60页 |
| 4.4 气体润滑低摩擦气缸摩擦力试验 | 第60-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
