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基于材料堆积效应的周期纳米结构加工机理及实验研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
第1章 绪论第8-19页
    1.1 课题背景及目的和意义第8-9页
    1.2 国内外研究现状第9-18页
        1.2.1 周期纳米结构加工的研究现状第9-11页
        1.2.2 基于AFM纳米刻划加工周期性纳米结构研究现状第11-14页
        1.2.3 国内外纳米刻划材料堆积分子动力学仿真研究现状第14-16页
        1.2.4 周期性纳米结构评价研究现状第16-17页
        1.2.5 周期性微纳米结构着色效应应用研究现状第17-18页
    1.3 本课题主要研究内容第18-19页
第2章 纳米刻划材料堆积效应的MD仿真研究第19-38页
    2.1 引言第19页
    2.2 分子动力学仿真模型第19-21页
    2.3 纳米刻划材料堆积效应的分子动力学仿真研究第21-31页
        2.3.1 探针棱向刻划材料堆积效应仿真研究第21-25页
        2.3.2 探针侧向刻划材料堆积效应仿真研究第25-28页
        2.3.3 探针背向刻划材料堆积效应仿真研究第28-29页
        2.3.4 载荷对刻划加工材料堆积效应影响仿真研究第29-31页
    2.4 进给量对刻划加工材料堆积形貌影响分子动力学仿真研究第31-37页
        2.4.1 探针棱方向刻划进给量对材料堆积形貌影响仿真研究第31-34页
        2.4.2 探针侧向刻划进给量对材料堆积形貌影响仿真研究第34-37页
    2.5 本章小结第37-38页
第3章 AFM纳米刻划堆积效应实验研究第38-56页
    3.1 引言第38页
    3.2 实验设备及实验原理第38-41页
        3.2.1 实验设备及实验样品第38-39页
        3.2.2 实验原理介绍第39-41页
    3.3 AFM纳米刻划材料堆积效应实验研究第41-49页
        3.3.1 探针形状对刻划加工材料堆积形貌影响研究第41-43页
        3.3.2 进给量对刻划加工材料堆积形貌影响研究第43-46页
        3.3.3 探针尖端半径对刻划加工材料堆积形貌影响研究第46-47页
        3.3.4 探针侧向刻划加工材料堆积形貌研究第47-49页
    3.4 AFM加工周期纳米结构实验研究第49-52页
        3.4.1 探针棱方向加工周期纳米结构实验研究第49-51页
        3.4.2 探针侧向加工周期纳米结构实验研究第51-52页
    3.5 周期性纳米结构截面形貌实验分析第52-55页
    3.6 本章小结第55-56页
第4章 周期性纳米结构评价及应用研究第56-72页
    4.1 引言第56页
    4.2 基于材料堆积效应形成的周期性纳米结构评价研究第56-65页
        4.2.1 基于二维傅里叶变换的周期性纳米结构评价研究第56-58页
        4.2.2 基于一维傅里叶变换的周期纳米结构评价研究第58-65页
    4.3 基于材料堆积效应加工周期性纳米结构应用研究第65-71页
        4.3.1 金属着色效应理论第65-66页
        4.3.2 周期性纳米结构着色效应实验研究第66-71页
    4.4 本章小结第71-72页
结论第72-74页
参考文献第74-79页
致谢第79页

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