| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 激光微细加工技术 | 第9-10页 |
| 1.2 准分子激光微细加工技术 | 第10-11页 |
| 1.2.1 准分子激光加工特点 | 第10-11页 |
| 1.2.2 准分子微细加工方法 | 第11页 |
| 1.3 对于激光光束变换的研究 | 第11-17页 |
| 1.3.1 激光光束整形方法的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3.2 激光光束聚焦方法的研究现状 | 第13-17页 |
| 1.4 实验室现状 | 第17-18页 |
| 1.5 研究内容和目标 | 第18-19页 |
| 第2章 基于zemax的准分子激光模拟 | 第19-31页 |
| 2.1 准分子光束特性 | 第19-21页 |
| 2.2 准分子激光模拟方法 | 第21-30页 |
| 2.2.1 高斯光源（source gaussian） | 第21-24页 |
| 2.2.2 椭圆光源（source ellipse） | 第24-27页 |
| 2.2.3 二极管光源（source diode） | 第27-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 准分子激光均束系统研究 | 第31-45页 |
| 3.1 微透镜阵列整形装置原理分析 | 第31-34页 |
| 3.1.1 微透镜阵列光束均匀化的基本原理 | 第31-33页 |
| 3.1.2 柱面镜阵列的基本原理 | 第33-34页 |
| 3.2 微透镜阵列整形装置整体设计方案 | 第34-43页 |
| 3.2.1 结构及参数确定 | 第34-37页 |
| 3.2.2 zemax建模 | 第37-40页 |
| 3.2.3 模拟仿真结果 | 第40-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 激光聚焦物镜的设计 | 第45-61页 |
| 4.1 激光聚焦理论 | 第45-47页 |
| 4.1.1 聚焦系统的种类 | 第45页 |
| 4.1.2 聚焦系统特性对光束聚焦特性的影响 | 第45-47页 |
| 4.2 一般光学系统设计实现过程 | 第47-49页 |
| 4.3 聚焦物镜的设计 | 第49-58页 |
| 4.3.1 聚焦物镜的选型及参数确定 | 第49-51页 |
| 4.3.2 像差校正及系统优化 | 第51-54页 |
| 4.3.3 设计结果及像差分析 | 第54-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-61页 |
| 第5章 激光准直系统的设计 | 第61-71页 |
| 5.1 激光准直系统的研究 | 第61-63页 |
| 5.2 激光准直系统的设计及模拟 | 第63-68页 |
| 5.2.1 用PW法求解初始结构 | 第63-66页 |
| 5.2.2 设计结果及效果检验 | 第66-68页 |
| 5.3 本章小结 | 第68-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
