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电射流仿真及压电厚膜微结构打印实验

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
目录第8-10页
1 绪论第10-18页
    1.1 电射流打印技术第10-14页
        1.1.1 电射流打印技术简介第10-11页
        1.1.2 电射流打印研究现状第11-14页
    1.2 压电厚膜MEMS器件第14-17页
        1.2.1 压电厚膜的应用第14-16页
        1.2.2 压电厚膜的微图形化技术第16-17页
    1.3 本文主要研究内容第17-18页
2 电射流打印实验平台第18-21页
    2.1 实验平台的搭建第18-19页
    2.2 实验平台的喷印实验第19-20页
    2.3 本章小结第20-21页
3 电射流的仿真研究第21-34页
    3.1 电射流的受力分析第21-22页
    3.2 电射流仿真的数值分析第22-24页
        3.2.1 流体运动方程第22-23页
        3.2.2 电场方程第23页
        3.2.3 VOF方法和气液自由界面的追踪第23-24页
    3.3 电射流仿真模型的建立第24-30页
        3.3.1 几何模型的建立与物理模型选定第24-26页
        3.3.2 划分网格及边界条件设置第26-27页
        3.3.3 参数设置及运行计算第27-28页
        3.3.4 仿真结果分析第28-30页
    3.4 电射流的仿真分析第30-33页
        3.4.1 电压对射流直径的影响第30-32页
        3.4.2 流量对射流直径的影响第32页
        3.4.3 高度对射流直径的影响第32-33页
    3.5 本章小结第33-34页
4 PZT复合悬浮液制备及电射流仿真第34-41页
    4.1 PZT复合悬浮液的制备第34-37页
    4.2 PZT复合悬浮液性质的测试第37-38页
    4.3 PZT复合悬浮液的电射流仿真第38-40页
    4.4 本章小结第40-41页
5 PZT厚膜微结构的电射流打印第41-49页
    5.1 不同线宽PZT的打印第41-42页
    5.2 不同间距PZT的打印第42-43页
    5.3 多层PZT的打印第43-46页
    5.4 PZT厚膜的性质测试第46-47页
    5.5 本章小结第47-49页
结论第49-50页
参考文献第50-55页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第55-56页
致谢第56-57页

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