电射流仿真及压电厚膜微结构打印实验
摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
目录 | 第8-10页 |
1 绪论 | 第10-18页 |
1.1 电射流打印技术 | 第10-14页 |
1.1.1 电射流打印技术简介 | 第10-11页 |
1.1.2 电射流打印研究现状 | 第11-14页 |
1.2 压电厚膜MEMS器件 | 第14-17页 |
1.2.1 压电厚膜的应用 | 第14-16页 |
1.2.2 压电厚膜的微图形化技术 | 第16-17页 |
1.3 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
2 电射流打印实验平台 | 第18-21页 |
2.1 实验平台的搭建 | 第18-19页 |
2.2 实验平台的喷印实验 | 第19-20页 |
2.3 本章小结 | 第20-21页 |
3 电射流的仿真研究 | 第21-34页 |
3.1 电射流的受力分析 | 第21-22页 |
3.2 电射流仿真的数值分析 | 第22-24页 |
3.2.1 流体运动方程 | 第22-23页 |
3.2.2 电场方程 | 第23页 |
3.2.3 VOF方法和气液自由界面的追踪 | 第23-24页 |
3.3 电射流仿真模型的建立 | 第24-30页 |
3.3.1 几何模型的建立与物理模型选定 | 第24-26页 |
3.3.2 划分网格及边界条件设置 | 第26-27页 |
3.3.3 参数设置及运行计算 | 第27-28页 |
3.3.4 仿真结果分析 | 第28-30页 |
3.4 电射流的仿真分析 | 第30-33页 |
3.4.1 电压对射流直径的影响 | 第30-32页 |
3.4.2 流量对射流直径的影响 | 第32页 |
3.4.3 高度对射流直径的影响 | 第32-33页 |
3.5 本章小结 | 第33-34页 |
4 PZT复合悬浮液制备及电射流仿真 | 第34-41页 |
4.1 PZT复合悬浮液的制备 | 第34-37页 |
4.2 PZT复合悬浮液性质的测试 | 第37-38页 |
4.3 PZT复合悬浮液的电射流仿真 | 第38-40页 |
4.4 本章小结 | 第40-41页 |
5 PZT厚膜微结构的电射流打印 | 第41-49页 |
5.1 不同线宽PZT的打印 | 第41-42页 |
5.2 不同间距PZT的打印 | 第42-43页 |
5.3 多层PZT的打印 | 第43-46页 |
5.4 PZT厚膜的性质测试 | 第46-47页 |
5.5 本章小结 | 第47-49页 |
结论 | 第49-50页 |
参考文献 | 第50-55页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
致谢 | 第56-57页 |