| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 本文研究背景与意义 | 第13-16页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第16-20页 |
| 1.3 本文研究内容和创新之处 | 第20-21页 |
| 1.4 本文的组织结构 | 第21-22页 |
| 第二章 基于微波谐振器的微波微等离子体源的基本理论 | 第22-32页 |
| 2.1 微波传输线的基本理论 | 第22-26页 |
| 2.1.1 微波传输线的基本参数 | 第22-25页 |
| 2.1.2 终端接不同负载时的微波传输线的工作状态 | 第25-26页 |
| 2.2 基于微带环缝谐振器的微波微等离子体源的基本理论 | 第26-27页 |
| 2.3 基于同轴线谐振器的微波微等离子体源的基本理论 | 第27-28页 |
| 2.4 基于微带线谐振器的微波微等离子体源的基本理论 | 第28-29页 |
| 2.5 模式耦合理论 | 第29-31页 |
| 2.5.1 两个无耗谐振器弱耦合的模式耦合模型 | 第29-30页 |
| 2.5.2 多个有耗谐振器弱耦合的模式耦合模型 | 第30-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 基于微波谐振器的微波微等离子体线性阵列源的研究 | 第32-51页 |
| 3.1 基于微波谐振器的微波微等离子体线性阵列源单元 | 第32-39页 |
| 3.1.1 微带线波导波长的分析 | 第32-33页 |
| 3.1.2 基于微波谐振器的微波微等离子体线性阵列源的单元结构 | 第33页 |
| 3.1.3 馈电点位置对馈电端反射系数S_(11)的影响 | 第33-35页 |
| 3.1.4 接地导带的长度对馈电端反射系数S_(11)的影响 | 第35-36页 |
| 3.1.5 馈电端反射系数S_(11)随频率的变化及其品质因数 | 第36-37页 |
| 3.1.6 基于微波谐振器的微波微等离子体线性阵列源单元结构的电磁场分布 | 第37-39页 |
| 3.2 基于微波谐振器的微波微等离子体线性阵列源(21个单元)的研究 | 第39-50页 |
| 3.2.1 线性阵列谐振器的结构 | 第39-40页 |
| 3.2.2 线性阵列谐振器单元之间的间距d对馈电端反射系数S_(11)的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.3 线性阵列谐振器的反射系数S_(11)及品质因数 | 第41-42页 |
| 3.2.4 线性阵列谐振器的电磁场分布 | 第42-45页 |
| 3.2.5 线性阵列谐振器单元间使用耦合条耦合对馈电端反射系数S_(11)的影响 | 第45-46页 |
| 3.2.6 使用耦合条耦合后,线性阵列谐振器的电磁场分布 | 第46-49页 |
| 3.2.7 耦合条宽度对线性阵列谐振器的电磁场分布的影响 | 第49-50页 |
| 3.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 基于微波谐振器的微波微等离子体双线性阵列源的研究 | 第51-61页 |
| 4.1 基于微波谐振器的微波微等离子体双线性阵列源(外双) | 第51-56页 |
| 4.1.1 双线性阵列谐振器两馈电端的反射系数 | 第52页 |
| 4.1.2 双线性阵列谐振器的电磁场分布 | 第52-56页 |
| 4.2 基于微波谐振器的微波微等离子体双线性阵列源(内双) | 第56-60页 |
| 4.2.1 双线性阵列谐振器两馈电端的反射系数 | 第56-57页 |
| 4.2.2 双线性阵列谐振器的电磁场分布 | 第57-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 基于微波谐振器的微波微等离子体圆形阵列源的研究 | 第61-72页 |
| 5.1 基于微波谐振器的微波微等离子体圆形阵列源 | 第61页 |
| 5.2 圆形阵列谐振器的电磁场分布 | 第61-70页 |
| 5.2.1 单馈、空间耦合时,圆形阵列谐振器的电磁场分布 | 第62-64页 |
| 5.2.2 双馈、空间耦合时,圆形阵列谐振器的电磁场分布 | 第64-66页 |
| 5.2.3 单馈、耦合条耦合时,圆形阵列谐振器的电磁场分布 | 第66-68页 |
| 5.2.4 双馈、耦合条耦合时,圆形阵列谐振器的电磁场分布 | 第68-70页 |
| 5.3 电路版图设计 | 第70-71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 结束语 | 第72-74页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第72页 |
| 6.2 后续工作及展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第78页 |
