基于材料弹性域去除的超光滑表面加工关键技术研究
| 摘要 | 第1-14页 |
| Abstract | 第14-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-30页 |
| ·课题来源与研究背景 | 第16-20页 |
| ·课题来源 | 第16页 |
| ·研究背景 | 第16-20页 |
| ·国内外研究现状 | 第20-27页 |
| ·超光滑表面加工方法综述 | 第20-26页 |
| ·弹性域去除机理研究现状 | 第26-27页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第27-30页 |
| 第二章 光学材料弹性域去除机理研究 | 第30-63页 |
| ·表层原子键能弱化机制 | 第30-41页 |
| ·光学元件表面羟基化过程 | 第30-34页 |
| ·纳米抛光液物理化学特性 | 第34-36页 |
| ·光学元件表层原子键能弱化反应 | 第36-41页 |
| ·光学材料加工弹性接触模型 | 第41-44页 |
| ·光学材料弹性接触实验分析 | 第41-43页 |
| ·光学材料弹性接触临界条件 | 第43-44页 |
| ·弹性域去除机制的实验验证 | 第44-55页 |
| ·纳米抛光颗粒运动轨迹 | 第45-47页 |
| ·纳米抛光颗粒与光学元件表面的碰撞模型 | 第47-50页 |
| ·纳米抛光颗粒弹性域射流加工效果 | 第50-52页 |
| ·弹性域去除实现的证据 | 第52-55页 |
| ·不同纳米抛光颗粒的材料去除特性 | 第55-61页 |
| ·纳米氧化铈抛光颗粒 | 第55-59页 |
| ·纳米氧化硅抛光颗粒 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第三章 弹性域流体动压超光滑加工装置设计 | 第63-81页 |
| ·弹性域流体动压超光滑加工系统的提出 | 第63-66页 |
| ·现有加工方式对弹性域超光滑加工的局限性 | 第63-64页 |
| ·弹性域流体动压超光滑加工原理 | 第64-66页 |
| ·弹性域流体动压超光滑加工模型的建立 | 第66-70页 |
| ·流体动压超光滑加工理论分析 | 第66-68页 |
| ·流体动压超光滑加工模型研究 | 第68-70页 |
| ·加工系统关键机构设计 | 第70-74页 |
| ·流体动压超光滑加工系统的组成 | 第70-71页 |
| ·多轴运动平台 | 第71-72页 |
| ·流体动压超光滑加工的抛光头优化设计 | 第72-74页 |
| ·加工装置的性能测试 | 第74-79页 |
| ·抛光轮旋转精度测试 | 第75-76页 |
| ·抛光头温度稳定性测试 | 第76-77页 |
| ·加工能力测试 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 第四章 流体动压超光滑加工的加工特性研究 | 第81-98页 |
| ·材料去除模型 | 第81-87页 |
| ·材料去除理论分析 | 第81-83页 |
| ·流体动力学仿真分析 | 第83-85页 |
| ·实验建模分析 | 第85-87页 |
| ·表面形貌演变规律 | 第87-92页 |
| ·传统抛光的表面和亚表面模型 | 第87-88页 |
| ·表面微观形貌随深度变化规律 | 第88-90页 |
| ·表面质量随深度变化规律 | 第90-91页 |
| ·表面结构特性对超光滑加工性能的影响 | 第91-92页 |
| ·表面性能评价 | 第92-96页 |
| ·HF刻蚀表面/亚表面质量分析 | 第92-94页 |
| ·纳米压痕表面物理性能分析 | 第94-96页 |
| ·本章总结 | 第96-98页 |
| 第五章 流体动压超光滑加工工艺规律研究 | 第98-113页 |
| ·工艺参数影响规律 | 第98-103页 |
| ·抛光轮浸没深度对材料去除速率的影响 | 第98-100页 |
| ·抛光轮转速对材料去除速率的影响 | 第100-101页 |
| ·抛光间隙对材料去除速率的影响 | 第101-102页 |
| ·工艺参数综合影响分析 | 第102-103页 |
| ·微细抛光纹路的控制 | 第103-111页 |
| ·微细抛光纹路产生机理 | 第104-106页 |
| ·微细抛光纹路抑制策略 | 第106-111页 |
| ·本章小结 | 第111-113页 |
| 第六章 流体动压超光滑表面加工实验 | 第113-129页 |
| ·不同材料可加工性的实验探索 | 第113-118页 |
| ·单晶硅 | 第113-114页 |
| ·单晶石英 | 第114-115页 |
| ·非晶硅酸盐玻璃 | 第115-116页 |
| ·微晶玻璃 | 第116-118页 |
| ·不同前期工艺表面质量提升实验 | 第118-120页 |
| ·离子束加工表面质量提升实验 | 第118-119页 |
| ·磁流变加工表面质量提升实验 | 第119-120页 |
| ·圆形平面镜全频域控制实验 | 第120-125页 |
| ·低频面形控制 | 第121-123页 |
| ·中频粗糙度控制 | 第123-124页 |
| ·高频粗糙度控制 | 第124-125页 |
| ·石英玻璃激光诱导损伤阈值提升初步实验 | 第125-128页 |
| ·阈值测试系统 | 第125-126页 |
| ·阈值结果与分析 | 第126-128页 |
| ·本章小结 | 第128-129页 |
| 第七章 总结与展望 | 第129-133页 |
| ·全文总结 | 第129-131页 |
| ·研究展望 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133-135页 |
| 参考文献 | 第135-144页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第144-146页 |
