单晶硅表面超精密切削的分子动力学研究

摘要	第1-8页
Abstract	第8-10页
第1章 绪论	第10-16页
·课题来源及研究的目的和意义	第10-11页
·单晶硅切削加工仿真的发展现状	第11-15页
·单晶硅超精密加工的国内外现状	第11-12页
·单晶硅切削的分子动力学仿真发展现状	第12-15页
·论文研究内容	第15-16页
第2章 单晶硅超精密切削的分子动力学建模	第16-32页
·引言	第16页
·分子动力学仿真方法	第16-28页
·分子动力学仿真的基本思想和理论	第16-18页
·周期性边界条件	第18-20页
·分子动力学系统的运动方程	第20-21页
·积分算法与势函数	第21-24页
·系综概念	第24-26页
·时间步长	第26-28页
·分子动力学仿真步骤	第28-30页
·仿真模型的建立	第30-31页
·本章小结	第31-32页
第3章 硅表面超精密切削的分子动力学仿真与分析	第32-40页
·引言	第32页
·单晶硅切削过程的仿真	第32-35页
·仿真模拟参数设定	第32-34页
·弛豫分析	第34-35页
·切削物理参数分析	第35-38页
·原子间势能分析	第35-36页
·切削力分析	第36-38页
·单晶硅纳米切削机理分析	第38-39页
·本章小结	第39-40页
第4章 加工参数对硅表面切削过程的影响	第40-52页
·引言	第40页
·切削深度对仿真结果的影响	第40-42页
·切削速度对仿真结果的影响	第42-45页
·刀具前角对仿真结果的影响	第45-47页
·刀尖形状对仿真结果的影响	第47-50页
·本章小结	第50-52页
总结	第52-54页
参考文献	第54-58页
致谢	第58-59页
攻读学位期间发表的学术成果	第59页