微细电解加工及与光纤激光掩膜复合加工技术研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-8页
第一章 绪论	第8-18页
·课题来源、背景及意义	第8-9页
·课题来源	第8页
·课题背景	第8页
·研究意义	第8-9页
·微细电解加工研究国内外现状	第9-16页
·国外微细电解研究进展	第9-15页
·国内微细电解加工研究进展	第15-16页
·本领域存在的问题	第16-17页
·主要研究内容	第17-18页
第二章 微细电解加工及激光掩膜复合加工机理研究	第18-30页
·微细电解加工特性	第19-22页
·高频、窄脉冲电流电解加工特性	第19-21页
·不同电解液在微细电解加工中的影响	第21-22页
·激光掩膜微细电解加工机理	第22-29页
·X射线光电子能谱分析工件表面特性	第23-26页
·X射线衍射分析激光掩膜层成分	第26-27页
·进行电化学耐腐蚀性测试	第27-29页
·本章小结	第29-30页
第三章 光纤激光掩膜微细电解加工装置的研发	第30-44页
·光纤激光掩膜微细电解加工装置的总体设计	第30-33页
·光纤激光机特点	第31-32页
·光纤激光机技术参数	第32-33页
·光纤激光掩膜微细电解加工平台的电气硬件组成	第33-35页
·光纤激光掩膜微细电解加工高频脉冲电源研发	第35-43页
·脉冲产生逻辑与功放	第36-39页
·加工电压调节模块	第39-40页
·加工状态检测电路	第40-42页
·微能高频窄脉冲保护电源电路	第42-43页
·本章小结	第43-44页
第四章 微细电解加工与激光掩膜复合加工试验工艺	第44-49页
·采用高频脉冲电源进行微细电解加工实验	第44-46页
·制作微细电极	第44-45页
·微细电解铣削加工研究	第45-46页
·激光掩膜复合加工试验工艺	第46-48页
·激光掩膜处理时激光扫描路径规划	第46-47页
·光纤激光掩膜微细电解加工	第47-48页
·本章小结	第48-49页
结论	第49-50页
参考文献	第50-53页
致谢	第53-54页
附录	第54-55页
攻读学位期间发表的学术成果	第55页