光学系统弹出式遮光罩研究
致谢 | 第1-4页 |
摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5-8页 |
第1章 绪论 | 第8-14页 |
·课题研究背景及意义 | 第8页 |
·杂散光抑制研究现状 | 第8-9页 |
·弹出式遮光罩研究现状 | 第9-13页 |
·国内的发展现状 | 第10-12页 |
·国外的发展现状 | 第12-13页 |
·论文的主要研究工作 | 第13-14页 |
第2章 杂散光抑制方法研究 | 第14-22页 |
·杂散光相关理论和概念 | 第14-17页 |
·光在任意两个面间的传输 | 第14-15页 |
·点源透过率 | 第15页 |
·双向散射分布函数 | 第15-16页 |
·全积分散射、全积分反射和半球空间总反射率 | 第16-17页 |
·杂散光产生的方式 | 第17-18页 |
·系统杂散光的分析方法 | 第18-19页 |
·蒙特卡罗法 | 第18-19页 |
·光线追迹法 | 第19页 |
·杂散光的抑制方法 | 第19-21页 |
·光阑法 | 第19-20页 |
·遮光罩法 | 第20-21页 |
·本章小结 | 第21-22页 |
第3章 弹出式遮光罩工作原理 | 第22-38页 |
·遮光罩和挡光环设计原理 | 第22-23页 |
·弹出式遮光罩的压缩与展开 | 第23-30页 |
·几种遮光罩的光学性能分析 | 第30-36页 |
·本章小结 | 第36-38页 |
第4章 弹出式遮光罩设计与模型建立 | 第38-48页 |
·结构选型 | 第38-39页 |
·结构参数和性能要求 | 第38页 |
·结构选型 | 第38-39页 |
·整体设计 | 第39-41页 |
·无挡光环的弹出式遮光罩 | 第39-40页 |
·带有挡光环的弹出式遮光罩 | 第40-41页 |
·具体结构设计 | 第41-47页 |
·套筒结构 | 第41-44页 |
·连接基板 | 第44-45页 |
·片弹簧组件 | 第45-46页 |
·可伸缩折叠梁 | 第46-47页 |
·材料选择 | 第47页 |
·本章小结 | 第47-48页 |
第5章 弹出式遮光罩力学性能分析 | 第48-56页 |
·径向受力分析 | 第48-51页 |
·无挡光环弹出式遮光罩受力分析 | 第48-50页 |
·有挡光环弹出式遮光罩受力分析 | 第50-51页 |
·模态分析 | 第51-54页 |
·无挡光环弹出式遮光罩模态分析 | 第51-53页 |
·有挡光环弹出式遮光罩模态分析 | 第53-54页 |
·片弹簧应力分析 | 第54-55页 |
·本章小结 | 第55-56页 |
第6章 总结与展望 | 第56-58页 |
·总结 | 第56-57页 |
·展望 | 第57-58页 |
参考文献 | 第58-62页 |
作者简介及攻读硕士期间发表的论文成果 | 第62-63页 |