| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-40页 |
| ·微加速度传感器概述 | 第14-18页 |
| ·加速度传感器的分类 | 第16-17页 |
| ·加速度传感器的主要参数 | 第17-18页 |
| ·MEMS加速度传感器 | 第18-25页 |
| ·MEMS概念及发展 | 第18-19页 |
| ·MEMS加速度传感器 | 第19-25页 |
| ·MOEMS加速度传感器 | 第25-32页 |
| ·MOEMS概念及发展 | 第25-27页 |
| ·目前典型的MOEMS加速度传感器 | 第27-32页 |
| ·本文的主要研究内容及创新点 | 第32-36页 |
| ·课题研究背景与目标 | 第32-33页 |
| ·本论文主要的研究内容 | 第33-35页 |
| ·本课题研究的创新点 | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-40页 |
| 第2章 相位调制的光栅干涉技术理论及特性研究 | 第40-62页 |
| ·干涉测试技术 | 第40-44页 |
| ·迈克尔逊干涉仪 | 第40-42页 |
| ·光栅测量技术 | 第42-44页 |
| ·光栅干涉技术理论及特性分析 | 第44-49页 |
| ·光栅干涉技术理论 | 第44-45页 |
| ·光学特性分析 | 第45-49页 |
| ·相位调制的光栅干涉技术 | 第49-58页 |
| ·相位调制-解调技术 | 第49-53页 |
| ·相位调制的光栅干涉技术理论 | 第53-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 第3章 微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器理论 | 第62-86页 |
| ·微加速度传感器的传感理论 | 第62-68页 |
| ·加速度传感器的力学模型 | 第62-64页 |
| ·微机械传感结构的设计与力学建模 | 第64-68页 |
| ·微机械传感结构的有限元分析 | 第68-76页 |
| ·有限元方法简介 | 第68-69页 |
| ·微机械传感结构的有限元分析 | 第69-76页 |
| ·微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器的理论模型 | 第76-82页 |
| ·三明治式加速度传感理论 | 第76-79页 |
| ·加速度传感器的主要性能指标与测试方法 | 第79-80页 |
| ·系统信号检测方法 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-86页 |
| 第4章 微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器制作工艺研究 | 第86-114页 |
| ·加速度传感器的组成 | 第86-87页 |
| ·电陶瓷 | 第87-89页 |
| ·光栅的制作 | 第89-91页 |
| ·硅微机械结构的制作 | 第91-101页 |
| ·微机械加工技术 | 第91-92页 |
| ·光刻 | 第92-94页 |
| ·ICP刻蚀技术 | 第94-96页 |
| ·硅微机械传感结构的制作流程与工艺 | 第96-101页 |
| ·三明治式传感芯片的封装与集成 | 第101-103页 |
| ·微光学集成的MOEMS加速度传感器的信号处理系统 | 第103-110页 |
| ·信号处理方案 | 第103页 |
| ·器件的选择 | 第103-110页 |
| ·本章小结 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-114页 |
| 第5章 微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器性能测试 | 第114-134页 |
| ·静态测试实验平台 | 第114-116页 |
| ·MOEMS加速度传感器输出信号的特点 | 第116-119页 |
| ·性能参数的测试与分析 | 第119-132页 |
| ·灵敏度与线性度的测试与分析 | 第119-122页 |
| ·滞性测试 | 第122-123页 |
| ·重复性与稳定性测试 | 第123-124页 |
| ·横向串扰分析 | 第124-126页 |
| ·噪声测试与分析 | 第126-131页 |
| ·分辨率分析 | 第131-132页 |
| ·本章小结 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-134页 |
| 第6章 总结与展望 | 第134-138页 |
| ·论文总结 | 第134-135页 |
| ·未来工作 | 第135-138页 |
| 攻读博士学位期间所取得的科研成果 | 第138页 |
