六西格玛DMAIC改善法在阳极制程改善的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题研究的意义和目的 | 第8-9页 |
| ·国内外六西格玛及DMAIC改善法的现状分析 | 第9-12页 |
| ·国外六西格玛DMAIC研究运用的最新进展 | 第9-10页 |
| ·国内六西格玛及DMAIC改善状况简介 | 第10-12页 |
| ·研究内容及方法 | 第12页 |
| ·研究架构与流程 | 第12-15页 |
| 第二章 阳极处理的现状与测量 | 第15-31页 |
| ·阳极制程简介 | 第15-18页 |
| ·项目改善的范围及目标 | 第18-24页 |
| ·当前质量现状和问题阐述 | 第19页 |
| ·主要缺陷类型分析 | 第19-23页 |
| ·阳极工艺流程表和改善目标 | 第23-24页 |
| ·改善项目的测量 | 第24-31页 |
| ·验证量测系统 | 第24-26页 |
| ·样品分析与测试 | 第26-31页 |
| 第三章 改善项目的分析 | 第31-41页 |
| ·改善项目的分析过程 | 第31-37页 |
| ·原因分析 | 第31-32页 |
| ·试验验证 | 第32-36页 |
| ·验证结论 | 第36-37页 |
| ·项目的改进阶段 | 第37-41页 |
| ·改善途径研究： | 第37-39页 |
| ·化学抛光重点影响因素说明 | 第39-41页 |
| 第四章 试验设计 | 第41-64页 |
| ·试验设计 | 第41-44页 |
| ·模型建立与试验过程 | 第44-57页 |
| ·磷酸-硫酸比的单因子试验 | 第44-49页 |
| ·多因子的试验设计 | 第49-57页 |
| ·数据分析及改进方案 | 第57-64页 |
| 第五章 改善方案验证与控制 | 第64-72页 |
| ·其他改善方案及效果验证 | 第64-69页 |
| ·其他改善方案 | 第64-65页 |
| ·效果验证 | 第65-69页 |
| ·项目的改善效果管制阶段 | 第69-72页 |
| ·过程管制 | 第69-70页 |
| ·效益分析 | 第70-72页 |
| 第六章 结论与展望 | 第72-74页 |
| ·结论 | 第72页 |
| ·未来研究方向 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读学位期间发表学术论文 | 第77-78页 |
| 附件 | 第78页 |
