| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| ABSTRACT | 第9-12页 |
| 目次 | 第12-16页 |
| 插图和附表清单 | 第16-22页 |
| 1 绪论 | 第22-44页 |
| ·玻璃基板传输技术概述 | 第22-23页 |
| ·悬浮传输技术的研究现状 | 第23-33页 |
| ·悬浮传输技术的国内外研究进展 | 第24-33页 |
| ·磁悬浮 | 第24-25页 |
| ·静电悬浮 | 第25-26页 |
| ·超声波悬浮 | 第26-27页 |
| ·气悬浮 | 第27-33页 |
| ·基于多孔质气悬浮方式构建非接触式传输系统的优势 | 第33页 |
| ·相关气动技术研究进展 | 第33-40页 |
| ·多孔质流量特性研究进展 | 第34-38页 |
| ·气体润滑相关技术研究进展 | 第38-40页 |
| ·课题的研究意义及研究内容 | 第40-42页 |
| ·研究意义 | 第40-41页 |
| ·研究内容 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 2 多孔质气阻流量特性及其测试方法研究 | 第44-68页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·烧结金属多孔质 | 第44-46页 |
| ·烧结金属多孔质的流量特性 | 第46-56页 |
| ·基于ISO6358标准的流量特性 | 第46-49页 |
| ·ISO6358标准及其扩展表示式 | 第46-47页 |
| ·试验研究及分析 | 第47-49页 |
| ·基于Darcy-Forchheimer模型的流量特性 | 第49-56页 |
| ·Darcy-Forchheimer模型理论推导 | 第49-51页 |
| ·试验研究及分析 | 第51-54页 |
| ·空气可压缩性的影响 | 第54-55页 |
| ·多孔质气阻流量特性的动态验证 | 第55-56页 |
| ·充气测试法 | 第56-65页 |
| ·等温容器及压力微分计 | 第56-57页 |
| ·试验研究及分析 | 第57-63页 |
| ·试验装置及测试结果 | 第57-59页 |
| ·Darcy-Forchheimer流量特性模型参数辨识 | 第59-61页 |
| ·同步参数辨识的可行性分析 | 第61-62页 |
| ·流量特性表示及能耗对比分析 | 第62-63页 |
| ·等温容器的容积选择 | 第63-64页 |
| ·误差分析 | 第64-65页 |
| ·本章小节 | 第65-68页 |
| 3 多孔质气悬浮静态特性研究 | 第68-86页 |
| ·引言 | 第68-69页 |
| ·多孔质气悬浮非接触式传输系统简介 | 第69-70页 |
| ·理论解析 | 第70-76页 |
| ·平行圆板间放射状间隙流建模分析 | 第70-73页 |
| ·基于Fluent软件的数值模拟 | 第73-76页 |
| ·气膜压力分布试验 | 第76-82页 |
| ·试验装置 | 第76-79页 |
| ·试验与仿真对比分析 | 第79-82页 |
| ·气膜承载力及刚度 | 第82-85页 |
| ·影响因素分析 | 第82-83页 |
| ·试验验证 | 第83-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 4 多孔质气悬浮动态特性研究及悬浮稳定性分析 | 第86-108页 |
| ·引言 | 第86-87页 |
| ·气膜动态压力特性建模 | 第87-91页 |
| ·非定常压力响应 | 第91-99页 |
| ·试验装置 | 第91-93页 |
| ·气膜压力动态响应试验分析 | 第93-95页 |
| ·气膜弹性效应 | 第95-96页 |
| ·气膜阻尼效应 | 第96-98页 |
| ·速度滑移现象对气膜特性的影响 | 第98-99页 |
| ·外部扰动下的自由振动 | 第99-103页 |
| ·试验装置 | 第99-100页 |
| ·仿真与试验结果对比 | 第100-103页 |
| ·减衰特性的影响因素分析 | 第103-106页 |
| ·脉冲初速度的影响 | 第104-105页 |
| ·悬浮工件质量的影响 | 第105页 |
| ·域半径的影响 | 第105-106页 |
| ·供给流量的影响 | 第106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 5 多孔质气悬浮传输综合试验研究 | 第108-138页 |
| ·引言 | 第108-109页 |
| ·玻璃基板形变分析 | 第109-117页 |
| ·薄板变形理论 | 第109-111页 |
| ·基板形变的影响因素分析 | 第111-117页 |
| ·导轨间L_(gap)对基板形变的影响 | 第112-114页 |
| ·供给流量Q对基板形变的影响 | 第114-115页 |
| ·固壁宽度L_f对基板形变的影响 | 第115-116页 |
| ·多孔区域半径R_l对基板形变的影响 | 第116-117页 |
| ·气浮导轨的设计及仿真 | 第117-121页 |
| ·设计方案 | 第117-119页 |
| ·多孔质气阻的排布方式 | 第117页 |
| ·导轨单元的尺寸参数 | 第117-118页 |
| ·气浮综合试验装置 | 第118-119页 |
| ·流场干涉现象的仿真分析 | 第119-121页 |
| ·气悬浮导轨综合特性 | 第121-127页 |
| ·气悬浮导轨的能耗分析 | 第121-123页 |
| ·静态悬浮特性 | 第123-124页 |
| ·传输中的稳定性问题 | 第124-127页 |
| ·负压预加载效果分析 | 第127-129页 |
| ·静态悬浮特性 | 第127-128页 |
| ·传输中的稳定性问题 | 第128-129页 |
| ·局部多孔质与全多孔质导轨的对比分析 | 第129-133页 |
| ·全多孔质导轨的悬浮静态特性 | 第130-132页 |
| ·全多孔质导轨的传输稳定性 | 第132-133页 |
| ·非接触式传输系统的构建 | 第133-135页 |
| ·本章小结 | 第135-138页 |
| 6 总结与展望 | 第138-142页 |
| ·论文总结 | 第138-140页 |
| ·工作展望 | 第140-142页 |
| 参考文献 | 第142-154页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第154-155页 |