第一章 文献综述 | 第1-32页 |
1.1 微电子材料的导热要求 | 第11-15页 |
1.1.1 基板材料 | 第12-13页 |
1.1.2 封装材料 | 第13-14页 |
1.1.3 层间介质材料 | 第14-15页 |
1.2 物质的导热机理 | 第15-21页 |
1.2.1 微观导热机理 | 第15-19页 |
1.2.2 各类物质的导热性能 | 第19-21页 |
1.3 聚酰亚胺/氮化铝复合材料 | 第21-32页 |
1.3.1 氮化铝(AIN)陶瓷 | 第22-26页 |
1.3.2 聚酰亚胺(PI)及其复合材料 | 第26-30页 |
参考文献 | 第30-32页 |
第二章 课题的提出和研究内容 | 第32-34页 |
2.1 课题的提出 | 第32-33页 |
2.2 研究内容及线路 | 第33-34页 |
第三章 原位聚合法制备聚酰亚胺/氮化铝复合材料 | 第34-48页 |
3.1 引言 | 第34-37页 |
3.2 主要化学试剂和实验器具 | 第37-38页 |
3.2.1 主要化学试剂 | 第37页 |
3.2.2 实验器具 | 第37-38页 |
3.3 原料的精制和表征 | 第38-40页 |
3.3.1 溶剂的精制 | 第38页 |
3.3.2 单体的精制和表征 | 第38-40页 |
3.3.3 氮化铝的处理 | 第40页 |
3.4 原位聚合法聚酰亚胺/氮化铝复合材料的制备 | 第40-41页 |
3.4.1 聚酰胺酸/氮化铝(PAA/AlN)的制备 | 第40页 |
3.4.2 聚酰胺酸/氮化铝(PAA/AlN)薄膜的制备 | 第40-41页 |
3.4.3 聚酰亚胺/氮化铝(PI/AlN)复合材料的制备 | 第41页 |
3.5 原位聚合法聚酰亚胺/氮化铝复合材料的表征 | 第41-46页 |
3.5.1 复合材料的扫描电镜(SEM)分析 | 第41-43页 |
3.5.2 红外吸收光谱分析 | 第43-45页 |
3.5.3 复合材料的热重(TG)分析 | 第45-46页 |
3.6 本章小结 | 第46-47页 |
参考文献 | 第47-48页 |
第四章 PMR工艺法制备聚酰亚胺/氮化铝复合材料 | 第48-61页 |
4.1 引言 | 第48-49页 |
4.2 PMR聚酰亚胺预聚体的制备 | 第49-51页 |
4.3 氮化铝的准备 | 第51-53页 |
4.4 PMR聚酰亚胺预聚体与氮化铝的复合 | 第53-54页 |
4.5 PMR聚酰亚胺/氮化铝复合材料的成型加工 | 第54-59页 |
4.6 本章小结 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-61页 |
第五章 聚酰亚胺/氮化铝复合材料的导热性能 | 第61-81页 |
5.1 导热性的测试 | 第61-67页 |
5.1.1 概述 | 第61-62页 |
5.1.2 TCHM-LT型C-MATIC热流计导热测试仪 | 第62-64页 |
5.1.3 测试数据及其换算 | 第64-67页 |
5.2 复合材料导热系数模型 | 第67-78页 |
5.2.1 复合材料导热系数的基本方程 | 第67-69页 |
5.2.2 复合材料导热系数的改进方程 | 第69-72页 |
5.2.3 复合材料导热系数的新理论方程 | 第72-76页 |
5.2.4 复合材料导热系数的经验模型 | 第76-78页 |
5.3 本章小结 | 第78-80页 |
参考文献 | 第80-81页 |
第六章 PMR聚酰亚胺/氮化铝复合材料的性能研究 | 第81-100页 |
6.1 导热性能研究 | 第81-89页 |
6.1.1 球磨工艺对导热系数的影响 | 第81-84页 |
6.1.2 热压成型工艺对导热系数的影响 | 第84-87页 |
6.1.3 偶联剂对导热系数的影响 | 第87-88页 |
6.1.4 层状复合材料的导热系数 | 第88-89页 |
6.2 介电性能研究 | 第89-95页 |
6.2.1 介电性能与氮化铝含量 | 第90-91页 |
6.2.2 介电性能与制备工艺 | 第91-93页 |
6.2.3 介电性能与偶联剂 | 第93-95页 |
6.2.4 介电性能与温度 | 第95页 |
6.3 热膨胀性能 | 第95-96页 |
6.4 本章小结 | 第96-100页 |
参考文献 | 第99-100页 |
第七章 原位聚合法聚酰亚胺/氮化铝复合材料的性能研究 | 第100-115页 |
7.1 复合材料性能的正交试验研究 | 第100-108页 |
7.1.1 正交试验方案 | 第100-101页 |
7.1.2 正交试验的极差分析 | 第101-103页 |
7.1.3 正交试验的方差分析 | 第103-106页 |
7.1.4 正交试验结果 | 第106-108页 |
7.2 导热性能 | 第108-110页 |
7.3 介电性能 | 第110-111页 |
7.4 电阻率 | 第111-112页 |
7.5 本章小结 | 第112-114页 |
参考文献 | 第114-115页 |
结论 | 第115-117页 |
致谢 | 第117页 |