| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-11页 |
| 致谢 | 第11-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-31页 |
| ·小型微/纳米级三坐标测量机研究目的和意义 | 第19-21页 |
| ·相关研究文献回顾 | 第21-30页 |
| ·课题来源 | 第30页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第30-31页 |
| 第二章 微型三坐标测量机桥架机构研究 | 第31-47页 |
| ·CMM桥架介绍 | 第31-32页 |
| ·拱形桥架设计观念 | 第32页 |
| ·拱形桥架结构确定 | 第32-37页 |
| ·静态热效应分析 | 第37页 |
| ·动力学分析 | 第37-42页 |
| ·塔形桥架结构的发展 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 高精度共平面二维工作平台 | 第47-61页 |
| ·二维工作平台共平面概念 | 第47-48页 |
| ·共平面二维工作台开发 | 第48-49页 |
| ·共平面二维工作平台特性分析 | 第49-52页 |
| ·驱动系统 | 第52-54页 |
| ·二维平台与三坐标测量机主体整合 | 第54-56页 |
| ·平台特性实验搭建 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 非接触式光学聚焦探头系统研究 | 第61-67页 |
| ·DVD激光读取头聚焦原理 | 第61-62页 |
| ·DVD激光探头系统测量原理 | 第62-64页 |
| ·非接触式聚焦探头及应用 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 纳米三坐标测量机的误差分析与精度设计 | 第67-78页 |
| ·纳米三坐标测量机的误差源分析 | 第67-70页 |
| ·纳米三坐标测量机精度设计 | 第70-73页 |
| ·空间体积误差计算 | 第73-76页 |
| ·误差分离与实时修正 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第六章 接触式光纤微探头研制 | 第78-95页 |
| ·材料与实验原理 | 第78-80页 |
| ·实验设备 | 第80-81页 |
| ·光纤微小探头加工流程 | 第81-83页 |
| ·田口式品质工程 | 第83-85页 |
| ·基于田口法加工光纤微探头实验流程 | 第85-92页 |
| ·化学蚀刻方法优化光纤球头直径 | 第92-93页 |
| ·光纤微球头改装为接触式测头系统测杆测球 | 第93-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第七章 接触触发式测头系统研究 | 第95-111页 |
| ·测头研究背景 | 第95页 |
| ·DVD光学聚焦测头传感器 | 第95-97页 |
| ·测头结构设计 | 第97-102页 |
| ·测头组装 | 第102页 |
| ·测头特性实验设计 | 第102-110页 |
| ·接触式测头系统进一步应用条件 | 第110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 第八章 总结与展望 | 第111-114页 |
| ·主要工作总结与成果 | 第111-112页 |
| ·研究工作展望 | 第112-114页 |
| 附件:桥架结构的AutoLisp生成程序及APDL分析程序 | 第114-121页 |
| 参考文献 | 第121-126页 |
| 作者在攻读博士论文期间论文与获奖 | 第126-127页 |