金属有机物化学气相沉积反应腔建模与仿真

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-21页
·MOCVD 概述	第8-11页
·MOCVD 反应腔	第11-15页
·MOCVD 国内外研究现状	第15-18页
·本文研究的目的和意义	第18-19页
·本文研究的主要内容和方法	第19-20页
·本章小结	第20-21页
2 MOCVD 的基础理论及数学模型的建立	第21-33页
·流体力学与传热学的基本理论	第21-27页
·MOCVD 反应腔内的沉积过程	第27页
·MOCVD 反应腔体内的化学反应模型	第27-29页
·多物理场耦合模型	第29-30页
·耦合模型的试验验证	第30-32页
·本章小结	第32-33页
3 MOCVD 模拟中的数值计算方法	第33-43页
·模型中的数值计算思想和特点	第33-36页
·模型的网格生成	第36-37页
·模型数值求解	第37-41页
·数值计算中的收敛控制	第41-42页
·本章小结	第42-43页
4 缓冲分布式反应腔体的数值模拟	第43-61页
·垂直喷淋流速均匀性的设计	第43-47页
·与反应腔体有关的冷却系统设计	第47-50页
·减少最高生长率与中心的距离	第50-54页
·调节生长工艺参数	第54-58页
·本章小结	第58-61页
5 总结及展望	第61-63页
·总结	第61页
·今后工作的建议及展望	第61-63页
致谢	第63-64页
参考文献	第64-67页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第67页