| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-27页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·SAW技术及SAW传感器发展概况 | 第9-24页 |
| ·SAW技术 | 第9-11页 |
| ·SAW传感器 | 第11-16页 |
| ·气体传感器 | 第16-24页 |
| ·SAW基片材料 | 第24-25页 |
| ·论文的主要内容与编排 | 第25-27页 |
| 第二章 声表面波应用的基础理论 | 第27-49页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·研究问题的结构模型 | 第27页 |
| ·覆盖层中的波动方程及求解 | 第27-31页 |
| ·压电介质中的波动方程 | 第31-37页 |
| ·压电本构方程 | 第31-32页 |
| ·准静态近似 | 第32页 |
| ·波动方程 | 第32-33页 |
| ·压电介质中的Christofel方程 | 第33页 |
| ·晶体切向及张量的坐标转换 | 第33-37页 |
| ·压电介质中声表面波的求解 | 第37-39页 |
| ·边界条件 | 第39-43页 |
| ·自由表面力学边界条件 | 第39-40页 |
| ·界面力学边界条件 | 第40-41页 |
| ·界面电学边界条件 | 第41-43页 |
| ·理论计算 | 第43-48页 |
| 本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 温度偏载条件下层状结构中声表面波的理论建模与仿真 | 第49-72页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·变形描述 | 第49-53页 |
| ·Lagrange描述 | 第50页 |
| ·Euler描述 | 第50-51页 |
| ·质点的位移及应变张量 | 第51-52页 |
| ·Cauchy应力张量与Piola-Kirchhoff应力张量 | 第52-53页 |
| ·压电介质在偏载条件下的电弹波动方程 | 第53-58页 |
| ·有限变形过程分析 | 第53-54页 |
| ·偏载电弹波动方程的建立 | 第54-58页 |
| ·有效材料常数及其特点 | 第58-62页 |
| ·声表面波温度偏载电弹波动方程的求解 | 第62-64页 |
| ·理论计算 | 第64-70页 |
| 本章小结 | 第70-72页 |
| 第四章SAW气体传感器的敏感机理 | 第72-85页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·互易关系 | 第72-79页 |
| ·薄膜电导的扰动解 | 第79-81页 |
| ·气体声表面波传感器中机械扰动的分析 | 第81-84页 |
| 本章小结 | 第84-85页 |
| 第五章 TiO_2介孔气体敏感膜的制备与表征 | 第85-103页 |
| ·引言 | 第85-87页 |
| ·TiO_2介孔薄膜制备与实验研究 | 第87-89页 |
| ·TiO_2介孔薄膜制备 | 第88-89页 |
| ·样品结构表征 | 第89页 |
| ·结果与讨论 | 第89-100页 |
| ·工艺条件对TiO_2介孔薄膜结构的影响 | 第89-95页 |
| ·表面活性剂去除方法的影响 | 第95-100页 |
| ·TiO_2膜吸附氧气的电特性 | 第100-101页 |
| ·敏感膜的材料常数 | 第101-102页 |
| 本章小节 | 第102-103页 |
| 第六章 声表面波气体传感器的设计与实验研究 | 第103-118页 |
| ·引言 | 第103页 |
| ·SAW谐振器的设计 | 第103-108页 |
| ·指条宽度G_f 与间隔G_(ff) 的确定 | 第103-104页 |
| ·谐振腔长度L_(rr) 与反射栅条数N_r 的设计 | 第104-107页 |
| ·叉指换能器结构参数设计 | 第107-108页 |
| ·金属膜厚度的选择 | 第108页 |
| ·传感器的信号检测与处理 | 第108-109页 |
| ·测试电路设计 | 第109-112页 |
| ·振荡器电路设计 | 第109-111页 |
| ·混频器电路 | 第111页 |
| ·低通滤波器 | 第111-112页 |
| ·延迟线传感器静态特性测试 | 第112-114页 |
| ·高温SAW氧气体传感器的灵敏度分析 | 第114-115页 |
| ·气体敏感特性测试 | 第115-117页 |
| 本章小结 | 第117-118页 |
| 第七章 总结与展望 | 第118-121页 |
| ·论文的创新点 | 第118-119页 |
| ·展望 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 攻读博士学位期间发表或录用的学术论文 | 第129-131页 |
