静电微泵性能模拟的关键基础技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·、微机电系统(MEMS)概述 | 第9-10页 |
| ·、MEMS的定义 | 第9页 |
| ·、MEMS的发展史 | 第9-10页 |
| ·、国内MEMS的研究情况 | 第10页 |
| ·、MEMS器件的制造技术 | 第10-11页 |
| ·、微加工技术 | 第10-11页 |
| ·、微装配技术 | 第11页 |
| ·、微夹持技术 | 第11页 |
| ·、微机械检测技术 | 第11页 |
| ·、微驱动技术 | 第11页 |
| ·、微机电系统建模与仿真概述 | 第11-20页 |
| ·、MEMS的模拟重要性及研究现状 | 第11-13页 |
| ·、MEMS的模拟层次 | 第13-20页 |
| ·、课题的意义和论文的主要内容 | 第20-22页 |
| ·、课题的研究意义 | 第20页 |
| ·、论文的主要内容 | 第20-22页 |
| 第二章 MEMS器件宏模型建模基础 | 第22-38页 |
| ·、硬件描述语言宏模型 | 第23-28页 |
| ·、原理 | 第23-25页 |
| ·、自加热电阻宏模型 | 第25-28页 |
| ·、集总网络宏模型 | 第28-33页 |
| ·、原理 | 第28-32页 |
| ·、电容 | 第32-33页 |
| ·、节点法宏模型 | 第33-37页 |
| ·、原理 | 第33-34页 |
| ·、线性梁元件 | 第34-37页 |
| ·、本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 宏模型构造的等效电路法 | 第38-49页 |
| ·、机械场等效电路 | 第38-47页 |
| ·、机械场F—1类比等效电路法 | 第41-44页 |
| ·、F—V类比 | 第44-45页 |
| ·受控源F-V等效电路 | 第45-47页 |
| ·、流体的等效电路 | 第47-48页 |
| ·、本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 有限元软件ANSYS分析方法 | 第49-59页 |
| ·、静力分析 | 第49-52页 |
| ·、模态分析 | 第52-53页 |
| ·、流体分析 | 第53-56页 |
| ·、耦合分析 | 第56-58页 |
| ·、本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 静电驱动特性分析 | 第59-69页 |
| ·、微泵的驱动技术 | 第59-61页 |
| ·、静电驱动微泵 | 第61页 |
| ·、固支梁的静电吸合特性分析 | 第61-68页 |
| ·、本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 静电驱动微泵性能的仿真研究 | 第69-80页 |
| ·、微泵的工作原理 | 第69-70页 |
| ·、仿真结果 | 第70-77页 |
| ·、建立模型并进行模态分析 | 第70-74页 |
| ·、建立模型进行耦合场分析 | 第74-77页 |
| ·、微泵的等效电路建模研究 | 第77-79页 |
| ·、本章小结 | 第79-80页 |
| 第七章 总结和展望 | 第80-82页 |
| ·、论文总结 | 第80页 |
| ·、展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 作者发表及录用文章 | 第87页 |
