高精度半导体扩散/氧化工艺控制系统的研制
| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-16页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·扩散/氧化工艺控制系统概述 | 第11-13页 |
| ·扩散/氧化工艺控制系统的发展概况 | 第11-12页 |
| ·目前使用的扩散/氧化工艺控制系统的组成 | 第12-13页 |
| ·扩散/氧化工艺温度控制系统的研究现状 | 第13-14页 |
| ·本课题的研究内容及重点 | 第14-16页 |
| 第2章 温度检测与控制系统总体设计方案 | 第16-20页 |
| ·温度检测与控制系统的功能要求 | 第16页 |
| ·温度检测与控制系统的结构设计方案 | 第16-18页 |
| ·温度检测与控制系统硬件电路的设计方案 | 第18页 |
| ·温度检测与控制系统软件程序的设计方案 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 温度检测单元硬件电路设计与实现 | 第20-36页 |
| ·温度检测单元的元件选型 | 第20-26页 |
| ·温度传感器的选择 | 第20-22页 |
| ·热电偶冷端补偿元件的选择 | 第22-24页 |
| ·A/D转换器的选择 | 第24-26页 |
| ·硬件电路的原理设计 | 第26-35页 |
| ·信号采集电路 | 第26-29页 |
| ·温度补偿电路 | 第29-30页 |
| ·A/D转换电路 | 第30-32页 |
| ·单片机外围电路 | 第32-33页 |
| ·电源电路 | 第33-35页 |
| ·电路板的制作 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 温度检测单元软件设计与实现 | 第36-47页 |
| ·A/D转换程序设计 | 第37-43页 |
| ·AD7710的控制字 | 第37-38页 |
| ·AD7710的读写时序及读写程序 | 第38-41页 |
| ·A/D转换程序的调试 | 第41-43页 |
| ·温度转换程序的设计 | 第43-45页 |
| ·温度转换的方法 | 第43页 |
| ·热电偶和铂电阻传感器的非线性校正方法 | 第43-44页 |
| ·温度数据的修正方法 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第5章 扩散/氧化工艺系统的温度控制策略 | 第47-58页 |
| ·经典PID控制算法 | 第47-50页 |
| ·PID算法的数字化 | 第47-49页 |
| ·PID参数分析 | 第49-50页 |
| ·PID算法的改进 | 第50-53页 |
| ·通常采用的PID改进方法 | 第50-53页 |
| ·扩散/氧化工艺控制系统的温度控制算法 | 第53页 |
| ·PID控制参数的设置方法 | 第53-57页 |
| ·PID控制参数测试环节特性的设计 | 第54页 |
| ·PID控制参数设置公式的推导 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第6章 温度控制单元硬件电路和软件程序设计 | 第58-67页 |
| ·温度控制单元硬件电路的设计 | 第58-61页 |
| ·温度控制单元软件程序的设计 | 第61-64页 |
| ·控制部分软件程序的设计 | 第61-63页 |
| ·通信部分软件程序的设计 | 第63-64页 |
| ·触摸屏应用程序的设计 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 附录 | 第75-81页 |
| 附图1:温度检测单元原理图—1 | 第75-76页 |
| 附图2:温度检测单元原理图—2 | 第76-77页 |
| 附图3:温度检测单元原理图—3 | 第77-78页 |
| 附图4:扩散炉温度检测与控制系统—结构图 | 第78-79页 |
| 附图5:扩散炉温度检测与控制系统—输入接线图 | 第79-80页 |
| 附图6:扩散炉温度检测与控制系统—输出接线图 | 第80-81页 |
| 附图7:温度检测单元外部接线图 | 第81页 |
