电子回旋共振等离子体的数值研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| ·等离子体 | 第8-11页 |
| ·等离子体概述 | 第8页 |
| ·等离子体的研究 | 第8-10页 |
| ·低温等离子体 | 第10-11页 |
| ·微波ECR等离子体技术 | 第11-23页 |
| ·微波ECR等离子体技术的基本原理 | 第11-16页 |
| ·微波ECR等离子体技术的实验研究 | 第16-19页 |
| ·微波ECR等离子体技术的理论研究 | 第19-20页 |
| ·微波ECR等离子体技术的应用 | 第20-23页 |
| 2 微波ECR的等离子体数学模型 | 第23-32页 |
| ·模拟对象 | 第23-26页 |
| ·基本方程 | 第26-29页 |
| ·等离子体物理模型 | 第26-28页 |
| ·无量纲化 | 第28-29页 |
| ·初始条件及参数的选取 | 第29-30页 |
| ·边界条件 | 第30-32页 |
| 3 微波ECR等离子体磁场模拟 | 第32-35页 |
| ·磁场的物理模型 | 第32页 |
| ·磁场强度的模拟结果 | 第32-35页 |
| 4 等离子体模拟结果 | 第35-43页 |
| ·模拟结果随时间的演化 | 第36-37页 |
| ·电子密度随时间的变化 | 第36页 |
| ·离子密度随时间的变化 | 第36-37页 |
| ·稳态时模拟结果及分析 | 第37-39页 |
| ·微波功率对等离子体参数的影响 | 第39-40页 |
| ·气压变化对等离子体参数的影响 | 第40-41页 |
| ·等离子体电势随气压和微波功率的变化 | 第41-43页 |
| 结论 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 附录 | 第47-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
