| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·大口径光学平面检测技术 | 第8-10页 |
| ·子孔径拼接法 | 第8-9页 |
| ·刀口阴影法 | 第9-10页 |
| ·干涉图的目视判读与数字化处理 | 第10-13页 |
| ·国内外干涉图手工判读的常用标准 | 第10-12页 |
| ·数字波面干涉仪与干涉图的数字化处理 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要内容 | 第13-15页 |
| 2 瑞奇-康芒检测方法研究 | 第15-32页 |
| ·瑞奇-康芒检验 | 第15-20页 |
| ·检测原理 | 第15-17页 |
| ·表面误差与波像差之间影响函数的公式推导 | 第17-20页 |
| ·瑞奇角与像差的关系分析 | 第20-25页 |
| ·瑞奇角的计算 | 第20-21页 |
| ·瑞奇角影响像差时的权重因子仿真 | 第21-25页 |
| ·ZYGO与VEECO干涉仪在瑞奇-康芒检验方法上的不同 | 第25-27页 |
| ·实验结果与分析 | 第27-31页 |
| ·实验的注意事项 | 第27-28页 |
| ·实验的结果处理 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 粗糙表面与干涉条纹对比度关系研究 | 第32-49页 |
| ·表面粗糙度与干涉条纹对比度 | 第32-35页 |
| ·激光散斑法测量表面粗糙度与干涉条纹对比度关系 | 第32-34页 |
| ·在红外光入射时，表面粗糙度与对比度的关系 | 第34-35页 |
| ·可见光干涉仪检测粗糙表面的对比度变化 | 第35-41页 |
| ·公式推导 | 第35-38页 |
| ·干涉条纹对比度的计算 | 第38页 |
| ·理论曲线仿真与讨论 | 第38-41页 |
| ·实验分析 | 第41-48页 |
| ·实验的注意事项 | 第41-42页 |
| ·实验的结果和分析 | 第42-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 ISO10110-5表面容差参数的计算方法 | 第49-65页 |
| ·数字波面干涉仪的面形评价参数 | 第49-52页 |
| ·泽尼克系数与赛德像差系数 | 第49页 |
| ·峰谷值和均方根值 | 第49-50页 |
| ·ISO10110-5提出的面形评价参数 | 第50-52页 |
| ·数字波面处理技术 | 第52-56页 |
| ·泽尼克多项式拟合波面的基本原理 | 第52-55页 |
| ·平面和球面样品的波面拟合结果 | 第55-56页 |
| ·ISO10110-5表面面形参数的计算 | 第56-64页 |
| ·波面分解的思想和算法实现 | 第56-59页 |
| ·平面和球面样品的波面分解结果 | 第59-62页 |
| ·误差分析与波面分解图样 | 第62-63页 |
| ·PV值、RMS值、容差参数与光圈参数关系的讨论 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 5 总结和展望 | 第65-67页 |
| ·本论文的主要工作 | 第65-66页 |
| ·待解决的问题 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |