硅微谐振式加速度计结构设计技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·微机电系统概述 | 第8-9页 |
| ·硅微谐振式加速度计概述 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·国外研究现状 | 第10-12页 |
| ·国内研究现状 | 第12页 |
| ·论文主要工作 | 第12-14页 |
| 2 硅微谐振式加速度计的工作原理及制备方法 | 第14-18页 |
| ·工作原理 | 第14-15页 |
| ·加工工艺 | 第15-16页 |
| ·性能指标 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3 谐振器的设计与分析 | 第18-34页 |
| ·谐振器的结构形式 | 第18-22页 |
| ·DETF结构 | 第18页 |
| ·激励方式 | 第18-21页 |
| ·模态设计 | 第21-22页 |
| ·力学分析 | 第22-32页 |
| ·谐振梁振动分析 | 第23-28页 |
| ·谐振梁的非线性振动 | 第28-32页 |
| ·等效电学模型 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 微杠杆结构的设计与分析 | 第34-41页 |
| ·微杠杆工作原理 | 第34-36页 |
| ·杠杆结构形式分析 | 第34-35页 |
| ·微杠杆结构的放大倍数 | 第35-36页 |
| ·参数仿真验证 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 硅微谐振式加速度计整体结构设计 | 第41-63页 |
| ·设计要求 | 第41页 |
| ·设计要点 | 第41-53页 |
| ·标度因数 | 第41-42页 |
| ·线性度 | 第42-43页 |
| ·量程 | 第43-44页 |
| ·噪声 | 第44-49页 |
| ·带宽 | 第49-53页 |
| ·具体参数设计 | 第53-56页 |
| ·仿真验证 | 第56-60页 |
| ·系统仿真 | 第56-57页 |
| ·FEA仿真 | 第57-60页 |
| ·硅微谐振式加速度计的制备 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 6 加工工艺引起的误差分析 | 第63-70页 |
| ·DETF结构尺寸不等 | 第63-65页 |
| ·梳齿间距不等 | 第65-67页 |
| ·支撑梁厚度不等 | 第67-68页 |
| ·弹性系统不对称 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 7 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·总结 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 附录 | 第76页 |
