| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-14页 |
| ·MEMS 的发展概况 | 第6-8页 |
| ·精密测试技术与微结构测试技术 | 第8-12页 |
| ·本文的主要工作及内容 | 第12-14页 |
| 第二章 电子散斑显微测试技术 | 第14-24页 |
| ·散斑现象及产生原理 | 第14-16页 |
| ·散斑计量技术 | 第16-20页 |
| ·ESPI 显微干涉结构 | 第20-24页 |
| 第三章 干涉条纹的分析及处理 | 第24-40页 |
| ·干涉条纹图 | 第24-25页 |
| ·条纹图像处理技术 | 第25-27页 |
| ·时间相移干涉技术 | 第27-30页 |
| ·相位信息处理技术 | 第30-35页 |
| ·散斑条纹图的处理 | 第35-40页 |
| 第四章 微结构的ESPI测试系统 | 第40-53页 |
| ·系统光路设计 | 第40-43页 |
| ·ESPI 测试系统的组成 | 第43-53页 |
| 第五章 实验结果及分析 | 第53-63页 |
| ·评价性实验 | 第53-57页 |
| ·散斑干涉测量实验 | 第57-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |