| 摘要 | 第4-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第12-41页 |
| 1.1 可调谐半导体激光器的应用与需求 | 第12-18页 |
| 1.2 现有的单片集成的大范围可调谐半导体激光器的技术方案 | 第18-29页 |
| 1.3 光子集成技术 | 第29-37页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第37-41页 |
| 2 多通道干涉激光器的理论设计 | 第41-76页 |
| 2.1 多通道干涉激光器的工作原理 | 第41-45页 |
| 2.2 臂长优化 | 第45-51页 |
| 2.3 1×8分束器设计与模拟 | 第51-60页 |
| 2.4 反射器的设计 | 第60-65页 |
| 2.5 多通道干涉激光器的模拟 | 第65-74页 |
| 2.6 本章小结 | 第74-76页 |
| 3 基于优化算法的可调谐半导体激光器的表征方法 | 第76-94页 |
| 3.1 引言 | 第76-77页 |
| 3.2 常规的表征方法 | 第77-81页 |
| 3.3 基于优化算法的表征方法 | 第81-85页 |
| 3.4 基于优化算法的表征方法实验结果 | 第85-92页 |
| 3.5 本章小结 | 第92-94页 |
| 4 多通道干涉激光器的制作与测试 | 第94-126页 |
| 4.1 激光器制作 | 第94-104页 |
| 4.2 激光器测试 | 第104-112页 |
| 4.3 测试结构测试 | 第112-117页 |
| 4.4 多通道干涉激光器与半导体光放大器的集成 | 第117-125页 |
| 4.5 本章小结 | 第125-126页 |
| 5 多通道干涉激光器性能改进 | 第126-150页 |
| 5.1 引言 | 第126页 |
| 5.2 改进的多通道干涉激光器的设计与模拟 | 第126-129页 |
| 5.3 浅刻蚀和深刻蚀脊波导结构的制作 | 第129-132页 |
| 5.4 改进的多通道干涉激光器的制作 | 第132-135页 |
| 5.5 多通道干涉激光器测试 | 第135-143页 |
| 5.6 多通道干涉激光器与半导体光放大器集成器件测试 | 第143-146页 |
| 5.7 测试结构测试 | 第146-149页 |
| 5.8 本章小结 | 第149-150页 |
| 6 全文总结与工作展望 | 第150-154页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第150-152页 |
| 6.2 下一步工作展望 | 第152-154页 |
| 致谢 | 第154-156页 |
| 参考文献 | 第156-169页 |
| 附录1 攻读博士学位期间获得的相关成果 | 第169-171页 |
| 附录2 缩略词表 | 第171-173页 |