| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第11-14页 |
| 1.1.1 压力传感器的应用 | 第11-12页 |
| 1.1.2 压力传感器的分类 | 第12-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-19页 |
| 1.2.1 电容式绝对压力传感器的国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.2 差压传感器的国内外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.3 SON工艺的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 论文主要研究内容和技术路线 | 第19-22页 |
| 1.3.1 论文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 1.3.2 论文的研究技术路线 | 第20-22页 |
| 第二章 SON构造的电容式绝对压力传感器的分析与设计 | 第22-41页 |
| 2.1 电容式绝对压力传感器工作原理 | 第22-23页 |
| 2.2 传感器弹性感压膜的分析 | 第23-31页 |
| 2.2.1 小挠度理论模型 | 第23-25页 |
| 2.2.2 大挠度理论模型 | 第25-26页 |
| 2.2.3 感压膜挠度的理论计算 | 第26-28页 |
| 2.2.4 感压膜的有限元仿真 | 第28-30页 |
| 2.2.5 传感器输出电容计算 | 第30-31页 |
| 2.3 压力传感器的特性分析 | 第31-34页 |
| 2.3.1 灵敏度 | 第31-32页 |
| 2.3.2 非线性度 | 第32-33页 |
| 2.3.3 量程 | 第33页 |
| 2.3.4 迟滞 | 第33-34页 |
| 2.3.5 重复性 | 第34页 |
| 2.4 传感器的优化设计与分析 | 第34-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 SON构造的电容式差压传感器的分析与设计 | 第41-62页 |
| 3.1 电容式差压传感器工作原理 | 第41-42页 |
| 3.2 差压传感器的特性分析 | 第42-52页 |
| 3.2.1 开口圆形感压膜的应变分析 | 第42-46页 |
| 3.2.2 灵敏度与分辨率的分析 | 第46-50页 |
| 3.2.3 传感器的频率响应分析 | 第50-52页 |
| 3.3 传感器腔体气体流动的数值模拟 | 第52-61页 |
| 3.3.1 CFD数值模拟基本思路 | 第52-55页 |
| 3.3.2 充放气过程仿真模型参数及边界条件的设置 | 第55-56页 |
| 3.3.3 传感器腔体模型充气仿真结果分析 | 第56-58页 |
| 3.3.4 传感器腔体模型放气仿真结果分析 | 第58-61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 电容式压力传感器的制作 | 第62-67页 |
| 4.1 基于SON构造的电容式绝对压力传感器的制备 | 第62-65页 |
| 4.1.1 电容式绝对压力传感器的工艺流程 | 第62-63页 |
| 4.1.2 工艺加工过程及结果 | 第63-65页 |
| 4.2 电容式差压传感器的制备流程 | 第65-66页 |
| 4.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 电容式压力传感器性能测试分析 | 第67-74页 |
| 5.1 压力传感器测试系统 | 第67-68页 |
| 5.2 压力传感器测试结果与分析 | 第68-73页 |
| 5.2.1 电容式绝对压力传感器测试结果与分析 | 第68-71页 |
| 5.2.2 电容式差压传感器的测试结果与分析 | 第71-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-77页 |
| 6.1 总结 | 第74-75页 |
| 6.2 展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第82页 |
