| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题的背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 课题研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 器件的理论基础与工作原理 | 第15-31页 |
| 2.1 器件的理论基础 | 第15-26页 |
| 2.2 性能评估参数 | 第26页 |
| 2.3 滤波器结构与工作原理 | 第26-29页 |
| 2.4 本章总结 | 第29-31页 |
| 3 器件设计与模拟仿真 | 第31-37页 |
| 3.1 器件设计 | 第31-33页 |
| 3.2 滤波特性仿真测试 | 第33-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-37页 |
| 4 器件制作工艺与测试分析 | 第37-50页 |
| 4.1 工艺流程和关键工艺介绍 | 第37-41页 |
| 4.2 滤波器件垂直耦合测试平台 | 第41-42页 |
| 4.3 器件制作方法 | 第42-45页 |
| 4.4 测试结果 | 第45-48页 |
| 4.5 总结 | 第48-50页 |
| 5 总结和展望 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第57页 |