| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景及项目来源 | 第8页 |
| 1.2 近红外光谱仪发展现状 | 第8-10页 |
| 1.3 MEMS光谱仪控制研究现状 | 第10-14页 |
| 1.4 论文主要内容及章节安排 | 第14-16页 |
| 第二章 MEMS近红外光谱仪结构原理及参数辨识 | 第16-28页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 MEMS微镜分类及驱动原理 | 第16-18页 |
| 2.2.1 电磁式驱动 | 第16-17页 |
| 2.2.2 电热式驱动 | 第17-18页 |
| 2.3 MEMS微镜驱动模型变量配对 | 第18-21页 |
| 2.4 MEMS微镜模型参数辨识 | 第21-27页 |
| 2.4.1 基于最小二乘的参数辨识原理 | 第21-24页 |
| 2.4.2 辨识结果与分析 | 第24-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 MEMS微镜驱动解耦控制系统研究与设计 | 第28-40页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 MEMS微镜驱动控制系统的解耦网络设计 | 第28-32页 |
| 3.2.1 相对增益分析 | 第28-30页 |
| 3.2.2 解耦网络设计 | 第30-32页 |
| 3.3 基于改进PID的MEMS微镜驱动控制器设计 | 第32-38页 |
| 3.3.1 改进的PID微镜驱动控制器设计 | 第32-34页 |
| 3.3.2 仿真研究 | 第34-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 基于扰动观测器与模型预测的MEMS微镜控制研究 | 第40-54页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 基本原理 | 第40-42页 |
| 4.2.1 模型预测控制基本原理 | 第40-41页 |
| 4.2.2 扰动观测器基本原理 | 第41-42页 |
| 4.3 基于DOB-MPC的复合驱动控制器设计 | 第42-49页 |
| 4.4 仿真研究 | 第49-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 系统测试与调试 | 第54-62页 |
| 5.1 系统调试 | 第54-57页 |
| 5.2 系统测试 | 第57-60页 |
| 5.3 本章小结 | 第60-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 全文总结 | 第62页 |
| 6.2 课题展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 作者在校期间研究成果 | 第68页 |