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X射线成像探测的关键技术研究

摘要第5-7页
abstract第7-9页
第一章 绪论第13-28页
    1.1 引言第13-14页
    1.2 X射线成像发展概述第14-19页
        1.2.1 胶片成像第14页
        1.2.2 计算机X射线成像(CR)第14-15页
        1.2.3 数字X射线成像(DR)第15-19页
    1.3 闪烁屏第19-24页
        1.3.1 闪烁体第19-21页
        1.3.2 CsI:Tl闪烁晶体第21-22页
        1.3.3 CsI:Tl膜状闪烁屏第22-24页
    1.4 小型化X射线闪烁成像探测结构第24-26页
    1.5 论文选题和章节安排第26-28页
第二章 CsI:Tl膜状闪烁屏的光转换理论研究第28-50页
    2.1 CsI:Tl闪烁晶体的光转换机理第28-35页
        2.1.1 X射线与闪烁晶体的相互作用第28-31页
        2.1.2 Tl+掺杂对CsI:Tl晶体光转换性能的影响第31-35页
    2.2 CsI:Tl膜状闪烁屏的微结构模型第35-46页
        2.2.1 理想连续层结构第35-38页
        2.2.2 像素化单元结构第38-42页
        2.2.3 微晶柱结构第42-46页
    2.3 CsI:Tl膜状闪烁屏的微结构参数对其光转换性能的影响第46-49页
    2.4 本章小结第49-50页
第三章 CsI:Tl膜状闪烁屏的制备工艺研究第50-60页
    3.1 CsI:Tl膜状闪烁屏的制备工艺第50-53页
        3.1.1 物理气相沉积工艺第50-51页
        3.1.2 真空热蒸发沉积工艺第51-53页
    3.2 真空热蒸发镀膜设备及原材料第53-55页
        3.2.1 真空热蒸发镀膜设备第53页
        3.2.2 CsI:Tl原材料第53-55页
        3.2.3 蒸发源及衬底第55页
    3.3 工艺流程及测试手段第55-59页
        3.3.1 CsI:Tl膜状闪烁屏的制备工艺流程第55-56页
        3.3.2 CsI:Tl膜状闪烁屏的性能测试手段第56-59页
    3.4 本章小结第59-60页
第四章 工艺条件对CsI:Tl膜状闪烁屏性能的影响第60-81页
    4.1 多晶膜的生长机理第60-64页
        4.1.1 气相吸附第60页
        4.1.2 形核第60-61页
        4.1.3 连续薄膜的形成及生长第61-63页
        4.1.4 CsI:Tl多晶膜的VW生长机理第63-64页
    4.2 不同工艺条件对CsI:Tl膜状闪烁屏性能的影响第64-79页
        4.2.1 工作真空度对膜状闪烁屏性能的影响第65-67页
        4.2.2 源衬间距对膜状闪烁屏性能的影响第67-69页
        4.2.3 蒸发电流对膜状闪烁屏性能的影响第69-73页
        4.2.4 衬底温度对膜状闪烁屏性能的影响第73-75页
        4.2.5 衬底形态对膜状闪烁屏性能的影响第75-79页
    4.3 本章小结第79-81页
第五章 CsI:Tl膜状闪烁屏的性能优化研究第81-96页
    5.1 CsI:Tl膜状闪烁屏的微结构优化第81-87页
        5.1.1 膜状闪烁屏的微结构变化趋势第81-84页
        5.1.2 界面调控第84-87页
    5.2 CsI:Tl膜状闪烁屏的防潮解第87-95页
        5.2.1 潮解对CsI:Tl膜状闪烁屏性能的影响第87-93页
        5.2.3 CsI:Tl膜状闪烁屏的防潮解结构及性能第93-95页
    5.3 本章小结第95-96页
第六章 X射线成像探测系统的成像性能研究第96-110页
    6.1 X射线闪烁成像探测系统的搭建第96-100页
    6.2 X射线闪烁成像探测系统的成像性能第100-108页
        6.2.1 直接耦合结构的X射线成像探测系统第100-104页
        6.2.2 光组件耦合结构的X射线成像探测系统第104-107页
        6.2.3 小型化X射线成像探测的成像优势第107-108页
    6.3 本章小结第108-110页
第七章 结束语第110-114页
    7.1 本论文的主要研究成果和创新点第110-112页
    7.2 本论文的后续工作展望第112-113页
    7.3 总结第113-114页
致谢第114-115页
参考文献第115-128页
攻读博士学位期间取得的成果第128-129页

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