白光干涉式微纳沟槽深度测量系统的研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第13-24页 |
| 1.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.2 课题研究背景、意义及必要性 | 第13-14页 |
| 1.3 三维表面形貌测量方法现状研究 | 第14-22页 |
| 1.3.1 表面形貌测量技术的发展 | 第14-15页 |
| 1.3.2 接触式测量方法 | 第15-17页 |
| 1.3.3 非接触式测量方法 | 第17-22页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第22-24页 |
| 2 白光干涉基本原理阐述 | 第24-31页 |
| 2.1 白光干涉技术 | 第24-26页 |
| 2.2 白光干涉信号分析 | 第26-27页 |
| 2.3 白光显微干涉系统 | 第27-29页 |
| 2.3.1 Michelson型干涉显微镜 | 第28页 |
| 2.3.2 Linnik型干涉显微镜 | 第28-29页 |
| 2.3.3 Mirau型干涉显微镜 | 第29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-31页 |
| 3 测量系统设计 | 第31-42页 |
| 3.1 测量系统概述 | 第31-32页 |
| 3.2 机械系统 | 第32-33页 |
| 3.3 光学系统 | 第33-38页 |
| 3.3.1 光源 | 第33-36页 |
| 3.3.2 显微干涉机构 | 第36-38页 |
| 3.4 升降调焦系统 | 第38-40页 |
| 3.5 图像采集系统 | 第40-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 测量控制子系统 | 第42-49页 |
| 4.1 实时采集 | 第43-45页 |
| 4.2 位移扫描机构控制 | 第45-46页 |
| 4.3 扫描策略 | 第46-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 三维形貌重构算法 | 第49-59页 |
| 5.1 重心法 | 第49-50页 |
| 5.2 傅里叶变换法 | 第50页 |
| 5.3 空间频域法 | 第50-51页 |
| 5.4 相移干涉法 | 第51-54页 |
| 5.5 Hibert-小波变换法 | 第54-58页 |
| 5.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 测试实验 | 第59-68页 |
| 6.1 超光滑表面标准样块噪声测试 | 第59-62页 |
| 6.2 不同深度沟槽样品测试 | 第62-67页 |
| 6.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 7 总结与展望 | 第68-70页 |
| 7.1 总结 | 第68-69页 |
| 7.2 创新点 | 第69页 |
| 7.3 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 作者简历 | 第74-75页 |
