| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 论文的研究背景和意义 | 第12-15页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第12页 |
| 1.1.2 研究背景 | 第12-14页 |
| 1.1.3 课题的研究意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3 论文主要研究内容及章节安排 | 第18-20页 |
| 第二章 基于平面电容传感器的热障涂层缺陷检测机理 | 第20-30页 |
| 2.1 平面电容传感器的检测原理 | 第20-29页 |
| 2.1.1 平面电容检测的静电场分析 | 第20-23页 |
| 2.1.2 平面电容检测的分析方法 | 第23-29页 |
| 2.2 热障涂层缺陷检测总体方案设计 | 第29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 平面电容传感器的优化设计 | 第30-49页 |
| 3.1 COMSOL Multiphysics多物理场仿真软件简介 | 第30-31页 |
| 3.2 平面电容传感器的仿真 | 第31-44页 |
| 3.2.1 平面电容传感器的二维仿真模型 | 第31-39页 |
| 3.2.2 平面电容传感器的三维仿真模型 | 第39-44页 |
| 3.3 平面电容传感器的优化设计和制作 | 第44-45页 |
| 3.4 平面电容传感器的性能测试 | 第45-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 微小电容检测电路的设计与实现 | 第49-67页 |
| 4.1 基于PCap02电容检测芯片的电容检测电路 | 第49-53页 |
| 4.1.1 PCap02电容检测芯片的检测原理 | 第50-52页 |
| 4.1.2 检测电路的实现 | 第52-53页 |
| 4.2 基于数字锁相放大的电容检测电路 | 第53-65页 |
| 4.2.1 驱动电路 | 第54-56页 |
| 4.2.2 调理电路 | 第56-57页 |
| 4.2.3 采样电路 | 第57-58页 |
| 4.2.4 数据传输和ARM外围电路 | 第58-59页 |
| 4.2.5 电源电路 | 第59-61页 |
| 4.2.6 检测原理及算法实现 | 第61-65页 |
| 4.3 本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 实验系统的搭建与缺陷测试 | 第67-79页 |
| 5.1 实验系统的搭建 | 第67-69页 |
| 5.1.1 测厚仪简介 | 第67-68页 |
| 5.1.2 实验对象简介 | 第68-69页 |
| 5.1.3 计算机编程界面的介绍 | 第69页 |
| 5.2 检测系统的测试 | 第69-78页 |
| 5.2.1 测试目的 | 第69页 |
| 5.2.2 测试设备 | 第69-70页 |
| 5.2.3 测试步骤 | 第70页 |
| 5.2.4 测试结果及分析 | 第70-78页 |
| 5.3 本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 总结与展望 | 第79-81页 |
| 6.1 总结 | 第79-80页 |
| 6.2 展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第87页 |