| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 亚波长光栅简介 | 第8-9页 |
| 1.2 亚波长光栅的应用 | 第9-10页 |
| 1.3 亚波长光栅反射镜的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.4 课题的研究目的及意义 | 第12-13页 |
| 1.5 研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 亚波长光栅反射镜设计理论 | 第14-24页 |
| 2.1 介质中的麦克斯韦方程组 | 第14-15页 |
| 2.2 等效介质理论 | 第15-17页 |
| 2.3 严格耦合波理论 | 第17-23页 |
| 2.3.1 TM偏振 | 第18-20页 |
| 2.3.2 TE偏振 | 第20-23页 |
| 2.4 本章小节 | 第23-24页 |
| 第三章 含有一对DBRs的宽带宽高反射率亚波长光栅反射镜 | 第24-31页 |
| 3.1 含有一对DBRs的亚波长光栅反射镜的设计 | 第24-25页 |
| 3.2 光栅各参数特性仿真 | 第25-28页 |
| 3.2.1 光栅周期与波长、反射率之间的关系 | 第25页 |
| 3.2.2 Si光栅层厚度与波长、反射率之间的关系 | 第25-26页 |
| 3.2.3 占空比与波长、反射率之间的关系 | 第26-27页 |
| 3.2.4 亚层厚度与波长、反射率之间的关系 | 第27-28页 |
| 3.2.5 反射镜的衍射效率 | 第28页 |
| 3.3 反射镜光程与偏振分析 | 第28-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 具有低折射率光栅层的亚波长光栅反射镜 | 第31-40页 |
| 4.1 具有低折射率光栅层反射镜的结构设计 | 第31-32页 |
| 4.2 光栅各参数特性仿真 | 第32-38页 |
| 4.2.1 Si光栅层厚度与波长、反射率之间的关系 | 第33-34页 |
| 4.2.2 亚层厚度与波长、反射率之间的关系 | 第34页 |
| 4.2.3 占空比与波长、反射率之间的关系 | 第34-35页 |
| 4.2.4 SiO_2光栅层厚度与波长、反射率之间的关系 | 第35-36页 |
| 4.2.5 光栅周期与波长、反射率之间的关系 | 第36页 |
| 4.2.6 反射镜的衍射效率 | 第36-38页 |
| 4.3 反射镜光程与偏振分析 | 第38-39页 |
| 4.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第五章 高反射率超宽带宽亚波长光栅反射镜的设计 | 第40-49页 |
| 5.1 含有一对DBRs与SiO_2光栅层的反射镜结构 | 第40-41页 |
| 5.2 光栅各参数特性仿真 | 第41-45页 |
| 5.2.1 Si光栅层厚度与波长、反射率之间的关系 | 第41-42页 |
| 5.2.2 亚层厚度与波长、反射率之间的关系 | 第42页 |
| 5.2.3 占空比与波长、反射率之间的关系 | 第42-43页 |
| 5.2.4 SiO_2光栅层厚度与波长、反射率之间的关系 | 第43页 |
| 5.2.5 周期与波长、反射率之间的关系 | 第43-44页 |
| 5.2.6 反射镜衍射效率 | 第44-45页 |
| 5.3 反射镜的相关特性及其应用 | 第45-47页 |
| 5.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第六章 总结与展望 | 第49-51页 |
| 6.1 总结 | 第49-50页 |
| 6.2 展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 个人学术成果 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
