基于白光干涉的表面三维形貌检测系统研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 表面三维形貌的检测方法 | 第7-12页 |
| 1.1.1 非光学检测方法 | 第7-9页 |
| 1.1.2 光学检测方法 | 第9-12页 |
| 1.2 白光干涉检测技术的发展与研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 研究背景与意义 | 第14页 |
| 1.4 本文的主要工作 | 第14-15页 |
| 2 白光干涉检测原理与算法研究 | 第15-35页 |
| 2.1 白光干涉特性 | 第15-17页 |
| 2.2 白光干涉检测理论 | 第17-22页 |
| 2.2.1 显微干涉检测原理 | 第17-18页 |
| 2.2.2 相移干涉检测原理 | 第18-19页 |
| 2.2.3 白光扫描干涉检测原理 | 第19-21页 |
| 2.2.4 白光扫描干涉检测方法 | 第21-22页 |
| 2.3 白光干涉信号相干峰提取算法 | 第22-34页 |
| 2.3.1 常用算法分析 | 第22-29页 |
| 2.3.2 算法仿真与比较 | 第29-32页 |
| 2.3.3 改进的白光相移干涉算法 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 表面三维形貌检测系统的设计 | 第35-53页 |
| 3.1 系统设计目标与整体结构 | 第35-36页 |
| 3.2 系统硬件设计 | 第36-47页 |
| 3.2.1 白光光源 | 第36-37页 |
| 3.2.2 光学干涉系统 | 第37-39页 |
| 3.2.3 移相系统 | 第39-42页 |
| 3.2.4 三维工作台 | 第42-45页 |
| 3.2.5 图像采集系统 | 第45-47页 |
| 3.3 系统软件设计 | 第47-52页 |
| 3.3.1 软件开发方案 | 第47-48页 |
| 3.3.2 工作台控制模块 | 第48-49页 |
| 3.3.3 扫描采样模块 | 第49-50页 |
| 3.3.4 数据处理与结果显示模块 | 第50-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 4 表面三维形貌检测系统的性能分析与检测实例 | 第53-62页 |
| 4.1 性能分析 | 第53-57页 |
| 4.1.1 系统的重复性精度 | 第53-55页 |
| 4.1.2 系统的分辨率 | 第55-57页 |
| 4.1.3 系统的检测范围 | 第57页 |
| 4.2 检测实例 | 第57-61页 |
| 4.2.1 平面检测实验 | 第57-58页 |
| 4.2.2 曲面检测实验 | 第58-60页 |
| 4.2.3 光栅检测 | 第60-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 结束语 | 第62-64页 |
| 5.1 本文工作总结 | 第62页 |
| 5.2 有待完善的工作 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 附录 | 第69页 |
