| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题来源及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 本文相关领域国内外发展现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 光刻机国内外发展现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 滑模控制理论及技术发展现状 | 第11-12页 |
| 1.2.3 粒子群学习算法发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 光刻机掩模台系统分析 | 第14-21页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 光刻机整体结构及工作原理 | 第14-17页 |
| 2.3 掩模台结构及工作原理 | 第17-19页 |
| 2.3.1 宏动台结构及误差分析 | 第18页 |
| 2.3.2 微动台结构及误差分析 | 第18-19页 |
| 2.4 掩模台控制系统实现 | 第19-20页 |
| 2.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 微动台解耦及质心偏差分析 | 第21-36页 |
| 3.1 引言 | 第21页 |
| 3.2 电机出力到曝光中心位移的关系建立 | 第21-27页 |
| 3.2.1 力学转换关系 | 第21-23页 |
| 3.2.2 微动台质心到曝光区域中心动力学模型建立 | 第23-26页 |
| 3.2.3 上述关系的综合 | 第26-27页 |
| 3.3 质心偏移分析 | 第27-32页 |
| 3.3.2 包含质心偏移矩阵建立 | 第27-28页 |
| 3.3.3 仿真实验 | 第28-32页 |
| 3.4 测量系统解耦 | 第32-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 微动台滑模控制器设计 | 第36-63页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 控制系统建模 | 第36-40页 |
| 4.2.1 单自由度音圈电机模型建立 | 第36-38页 |
| 4.2.2 非线性摩擦力模型 | 第38-40页 |
| 4.3 滑模控制器设计 | 第40-43页 |
| 4.3.3 滑模控制器设计过程 | 第40-41页 |
| 4.3.4 滑模变结构控制器的抖振抑制方法 | 第41-42页 |
| 4.3.5 基于指数趋近率的滑模控制器设计 | 第42-43页 |
| 4.4 粒子群学习优化算法 | 第43-46页 |
| 4.4.6 粒子群学习算法基本过程 | 第43-45页 |
| 4.4.7 目标函数的构建 | 第45页 |
| 4.4.8 粒子群学习算法设计 | 第45-46页 |
| 4.5 5 阶S曲线规划设计 | 第46-50页 |
| 4.6 仿真实验 | 第50-62页 |
| 4.6.1 滑模参数分析 | 第51-57页 |
| 4.6.2 粒子学习算法分析 | 第57-62页 |
| 4.7 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 多自由度控制系统仿真实验 | 第63-73页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 MIMO解耦模型建立及仿真系统搭建 | 第63-67页 |
| 5.2.1 MIMO模型建立的研究意义 | 第63页 |
| 5.2.2 微动台六自由度解耦模型建立 | 第63-67页 |
| 5.3 微动台仿真实验 | 第67-72页 |
| 5.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |