| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 柔性力学传感器 | 第9-12页 |
| 1.2.1 柔性阻变传感器 | 第10-11页 |
| 1.2.2 柔性容变传感器 | 第11-12页 |
| 1.2.3 柔性压电传感器 | 第12页 |
| 1.3 基于石墨烯的柔性阻变传感器 | 第12-17页 |
| 1.3.1 石墨烯 | 第13-14页 |
| 1.3.2 基于石墨烯的柔性阻变传感器 | 第14-17页 |
| 1.4 本论文的研究意义和内容 | 第17-19页 |
| 第二章 基于石墨烯薄膜的柔性应力传感器制备与表征方法 | 第19-27页 |
| 2.1 前言 | 第19页 |
| 2.2 制备石墨烯的方法 | 第19-22页 |
| 2.2.1 固相法 | 第19页 |
| 2.2.2 气相法 | 第19-20页 |
| 2.2.3 液相法 | 第20-22页 |
| 2.2.4 制备方法的对比 | 第22页 |
| 2.3 石墨烯的表征方法 | 第22-25页 |
| 2.3.1 光学显微镜 | 第22-23页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第23页 |
| 2.3.3 拉曼光谱 | 第23-25页 |
| 2.4 测试平台 | 第25-26页 |
| 2.5 实验试剂和仪器 | 第26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 石墨烯基柔性应力传感器的制备与性能研究 | 第27-44页 |
| 3.1 传感器的设计与制备 | 第27-30页 |
| 3.1.1 基底制备 | 第27-28页 |
| 3.1.2 器件制备工艺 | 第28-30页 |
| 3.2 超声分散法制备工艺的研究 | 第30-31页 |
| 3.3 基于激光直写的氧化还原法 | 第31-34页 |
| 3.3.1 超声功率对氧化石墨烯碎片的影响 | 第32页 |
| 3.3.2 超声时间对氧化石墨烯碎片的影响 | 第32-33页 |
| 3.3.3 还原氧化石墨烯 | 第33-34页 |
| 3.4 传感器的力电特性研究 | 第34-37页 |
| 3.5 图形化结构对于传感器性能影响的研究 | 第37-43页 |
| 3.5.1 提高长宽比对灵敏度的影响 | 第37-39页 |
| 3.5.2 双层接触结构对传感器性能的影响 | 第39-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 基于纳米小球复合石墨烯的柔性应力传感器的制备和性能研究 | 第44-60页 |
| 4.1 引言 | 第44-46页 |
| 4.2 设计原理 | 第46-48页 |
| 4.2.1 小尺寸PS纳米小球复合石墨烯 | 第46-47页 |
| 4.2.2 大尺寸PS纳米小球复合石墨烯 | 第47-48页 |
| 4.3 器件制备工艺 | 第48-49页 |
| 4.3.1 氧化石墨烯和纳米小球混合分散液制备 | 第48页 |
| 4.3.2 PDMS基底制备 | 第48页 |
| 4.3.3 传感器的制备 | 第48-49页 |
| 4.4 微观表征 | 第49-52页 |
| 4.5 研究纳米小球复合对器件灵敏度的影响 | 第52-55页 |
| 4.5.1 小尺寸PS纳米小球复合对传感器灵敏度的影响 | 第52-54页 |
| 4.5.2 大尺寸PS纳米小球复合对传感器灵敏度的影响 | 第54-55页 |
| 4.6 重复性、检测范围和响应时间测试 | 第55-57页 |
| 4.7 人体信号测试 | 第57-59页 |
| 4.8 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第66页 |
