| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-28页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第13-14页 |
| 1.2 基本热传输原理与常见散热技术 | 第14-20页 |
| 1.2.1 热传输原理 | 第14-17页 |
| 1.2.2 被动式散热技术 | 第17页 |
| 1.2.3 主动式散热技术 | 第17-20页 |
| 1.3 微流道散热器 | 第20-21页 |
| 1.3.1 微流道散热及微流道散热器性能参数 | 第20-21页 |
| 1.3.2 微流道散热器的热测试 | 第21页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第21-27页 |
| 1.4.1 常见温度测试方法及微型温度传感器研究现状 | 第22-23页 |
| 1.4.2 微流道散热器研究现状 | 第23-27页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第27-28页 |
| 第二章 研究方案与实验方法 | 第28-35页 |
| 2.1 研究方案 | 第28-29页 |
| 2.2 COMSOLMultiphysics多物理场耦合分析(仿真)软件 | 第29-30页 |
| 2.2.1 COMSOLMultiphysics的概述 | 第29页 |
| 2.2.2 COMSOLMultiphysics热仿真流程 | 第29-30页 |
| 2.3 MEMS工艺与封装技术 | 第30-32页 |
| 2.3.1 激光刻蚀技术 | 第30-31页 |
| 2.3.2 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜 | 第31页 |
| 2.3.3 高温退火 | 第31页 |
| 2.3.4 BCB树脂键合 | 第31-32页 |
| 2.4 微观结构分析及性能表征 | 第32-33页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第32页 |
| 2.4.2 原子力显微镜(AFM) | 第32页 |
| 2.4.3 台阶仪 | 第32-33页 |
| 2.5 薄膜温度传感器电阻温度系数(TCR)标定方法 | 第33页 |
| 2.6 实验测试及温度表征 | 第33-34页 |
| 2.6.1 多通道数据采集仪 | 第33页 |
| 2.6.2 红外热像仪 | 第33-34页 |
| 2.7 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 集成有电阻式薄膜温度传感器的微流道散热器的设计与制备以及热测试系统的搭建 | 第35-56页 |
| 3.1 分立电阻式薄膜温度传感器的设计及制备 | 第35-42页 |
| 3.1.1 温度敏感材料的选择与制备 | 第35-39页 |
| 3.1.2 分立电阻式薄膜温度传感器的设计与制备 | 第39-40页 |
| 3.1.3 分立电阻式薄膜温度传感器的温度标定 | 第40-42页 |
| 3.2 微流道的设计及制备 | 第42-46页 |
| 3.3 热源的设计及制备 | 第46-47页 |
| 3.4 集成有电阻式薄膜温度传感器的微流道散热器的设计及制备 | 第47-53页 |
| 3.4.1 集成有电阻式薄膜温度传感器的微流道散热器的仿真设计 | 第48页 |
| 3.4.2 BCB键合参数的确定 | 第48-51页 |
| 3.4.3 集成有电阻式薄膜温度传感器的微流道散热器的制备 | 第51-53页 |
| 3.5 微流道散热器热测试系统 | 第53-55页 |
| 3.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 集成有电阻式薄膜温度传感器的微流道散热器热性能测试 | 第56-67页 |
| 4.1 薄膜温度传感器以及微流道散热器热测试系统稳定性测试 | 第56-58页 |
| 4.2 微流道散热器散热性能测试 | 第58-63页 |
| 4.2.1 微流道散热能力的测试与研究 | 第58-60页 |
| 4.2.2 微流道内温度分布及其研究 | 第60-63页 |
| 4.3 微流道散热器内微流体(冷却液)状态研究 | 第63-65页 |
| 4.3.1 单相下,气泡对微流道散热器的影响 | 第63-64页 |
| 4.3.2 微流道散热器内微流体(冷却液)波动研究 | 第64-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 全文总结 | 第67-68页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第76页 |
