| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外研发现状 | 第9-18页 |
| 1.2.1 精密测头的发展概况 | 第9-12页 |
| 1.2.2 精密线性测头的研究现状 | 第12-18页 |
| 1.3 研究内容及论文结构 | 第18-19页 |
| 1.3.1 课题研究内容 | 第18页 |
| 1.3.2 论文结构 | 第18-19页 |
| 1.4 课题来源 | 第19-21页 |
| 第2章 工作原理及方案设计 | 第21-35页 |
| 2.1 三维精密线性测头的结构设计要求 | 第21页 |
| 2.2 测头的总体结构设计方案分析 | 第21-29页 |
| 2.3 测头的工作原理 | 第29-31页 |
| 2.4 传感器的选型 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 机械结构设计与计算 | 第35-71页 |
| 3.1 机械结构总体设计 | 第35-49页 |
| 3.1.1 设计依据与原则 | 第35-36页 |
| 3.1.2 整体结构设计与分析 | 第36-38页 |
| 3.1.3 导向机构 | 第38-39页 |
| 3.1.4 测量力解耦结构设计 | 第39-42页 |
| 3.1.5 主动测量结构 | 第42-43页 |
| 3.1.6 重力平衡结构 | 第43-45页 |
| 3.1.7 回零机构 | 第45-48页 |
| 3.1.8 自锁机构 | 第48-49页 |
| 3.2 关键零部件的设计计算 | 第49-68页 |
| 3.2.1 平行簧片导轨的结构设计与计算 | 第49-56页 |
| 3.2.2 双轴柔性铰链的设计计算 | 第56-61页 |
| 3.2.3 弹簧设计计算 | 第61-63页 |
| 3.2.4 各轴向综合刚度计算和尺寸设计 | 第63-68页 |
| 3.3 本章小结 | 第68-71页 |
| 第4章 误差分析与精度设计 | 第71-83页 |
| 4.1 原理误差 | 第72-73页 |
| 4.2 阿贝综合误差 | 第73-74页 |
| 4.3 导向机构的误差分析与计算 | 第74-77页 |
| 4.3.1 平行簧片机构误差公式推导 | 第74-77页 |
| 4.3.2 三导向轴综合误差 | 第77页 |
| 4.4 测杆测球变形误差 | 第77-78页 |
| 4.5 动态误差分析 | 第78页 |
| 4.6 减小系统误差的措施 | 第78-79页 |
| 4.7 精度设计 | 第79-82页 |
| 4.8 本章小结 | 第82-83页 |
| 第5章 结构动静态特性分析 | 第83-99页 |
| 5.1 等效运动质量分析与计算 | 第83-85页 |
| 5.1.1 各零构件的质量 | 第83-84页 |
| 5.1.2 各方向的等效运动质量计算 | 第84-85页 |
| 5.1.3 等效质量的调整 | 第85页 |
| 5.2 测头结构动态特性分析 | 第85-93页 |
| 5.2.1 Pro/E与Ansys Workbench的协同几何建模 | 第85-87页 |
| 5.2.2 网格划分 | 第87页 |
| 5.2.3 测头整机模态分析 | 第87-90页 |
| 5.2.4 测头谐响应分析 | 第90-93页 |
| 5.3 测头结构静态特性分析 | 第93-97页 |
| 5.3.1 整体静态特性分析 | 第94-96页 |
| 5.3.2 平行簧片机构的静态特性分析 | 第96-97页 |
| 5.3.3 维双轴铰链导轨机构的静态特性分析 | 第97页 |
| 5.4 本章小结 | 第97-99页 |
| 结论 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-105页 |
| 附录 | 第105-107页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第107-109页 |
| 致谢 | 第109页 |