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音频小功率静电感应晶体管的制作工艺

摘要第3-4页
Abstract第4页
第一章 绪论第7-13页
    1.1 引言第7-8页
    1.2 音频前置放大器第8-10页
        1.2.1 音频前置放大器概述第8页
        1.2.2 音频前置放大器的作用及特点第8-10页
    1.3 静电感应晶体管的特点及音频应用第10-11页
    1.4 本文主要工作第11-13页
第二章 静电感应晶体管第13-24页
    2.1 静电感应晶体管简介第13页
    2.2 静电感应器件的结构第13-16页
    2.3 静电感应晶体管的性能模拟第16-22页
        2.3.1 栅压和漏压对势垒高度的影响第17-18页
        2.3.2 沟道中心电子浓度第18-19页
        2.3.3 预夹断、完全夹断时电势三维图及Contour图第19-21页
        2.3.4 静电感应器件的I-V特性第21-22页
    2.4 小功率静电感应晶体管2SK79简介第22-24页
第三章 基本制作参数的选取及版图设计第24-33页
    3.1 材料参数第24-25页
    3.2 结构参数第25-27页
        3.2.1 沟道厚度第25-26页
        3.2.2 沟道长度第26-27页
        3.2.3 沟道宽度第27页
        3.2.4 栅体厚度第27页
    3.3 版图设计第27-33页
第四章 静电感应晶体管工艺仿真与制作第33-55页
    4.1 半导体工艺介绍第33-34页
    4.2 工艺流程设计及关键技术第34-48页
        4.2.1 工艺流程设计第34-46页
        4.2.2 关键技术第46-48页
    4.3 测试结果及其分析第48-55页
        4.3.1 结构参数对比第48-49页
        4.3.2 器件的电学参数对比第49-50页
        4.3.3 器件电学特性对比第50-55页
第五章 结论与展望第55-57页
    5.1 结论第55-56页
    5.2 展望第56-57页
参考文献第57-59页
在学期间的研究成果第59-60页
致谢第60页

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