| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 圆柱面基本理论及应用 | 第11-12页 |
| 1.2.1 圆柱面面形描述 | 第11-12页 |
| 1.2.2 圆柱面性质及应用 | 第12页 |
| 1.3 圆柱面检测方法 | 第12-16页 |
| 1.3.1 样板法 | 第12-13页 |
| 1.3.2 轮廓仪检测法 | 第13-14页 |
| 1.3.3 辅助平面法 | 第14页 |
| 1.3.4 光纤法 | 第14-15页 |
| 1.3.5 标准柱面法 | 第15页 |
| 1.3.6 计算全息法 | 第15-16页 |
| 1.4 论文的结构安排及主要工作 | 第16-17页 |
| 第二章 计算全息法检测圆柱面 | 第17-32页 |
| 2.1 计算全息图概述 | 第17-25页 |
| 2.1.1 计算全息图发展 | 第17-18页 |
| 2.1.2 二元光学元件基本原理 | 第18-19页 |
| 2.1.3 二元光学元件性质 | 第19-22页 |
| 2.1.4 计算全息图制作方法 | 第22-25页 |
| 2.2 计算全息法检测圆柱面发展及国内状况 | 第25-28页 |
| 2.2.1 计算全息法检测圆柱面发展 | 第25-27页 |
| 2.2.2 国内现状 | 第27-28页 |
| 2.3 本文研究的圆柱面检测方法 | 第28-31页 |
| 2.3.1 圆柱面检测原理 | 第28-29页 |
| 2.3.2 会聚光束选取 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 计算全息法检测圆柱面系统设计 | 第32-43页 |
| 3.1 圆柱面检测系统设计原则 | 第32-33页 |
| 3.2 实例圆柱面检测系统的设计 | 第33-39页 |
| 3.2.1 会聚光束和计算全息图组合检测圆柱面实例设计 | 第34-35页 |
| 3.2.2 平行光束和计算全息图组合检测圆柱面实例设计 | 第35-37页 |
| 3.2.3 检测计算全息图最小刻划间隔计算 | 第37-38页 |
| 3.2.4 会聚光束规则验证 | 第38-39页 |
| 3.3 实例圆柱面检测系统的校准部分设计 | 第39-41页 |
| 3.3.1 校准光路设计 | 第39-40页 |
| 3.3.2 校准计算全息图最小刻划间隔计算 | 第40页 |
| 3.3.3 校准光路的干涉图样 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 计算全息图制作 | 第43-50页 |
| 4.1 实例计算全息图的绘制 | 第43-46页 |
| 4.1.1 检测计算全息图的条纹搜索 | 第44-45页 |
| 4.1.2 校准计算全息图的条纹搜索 | 第45-46页 |
| 4.2 实例计算全息图的制作 | 第46-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 应用干涉仪和计算全息图检测圆柱面 | 第50-61页 |
| 5.1 Zygo 干涉仪和圆柱面检测系统 | 第50-53页 |
| 5.2 圆柱面检测实验 | 第53-54页 |
| 5.3 实验结果 | 第54-56页 |
| 5.4 精度分析 | 第56-59页 |
| 5.4.1 计算全息图装调误差 | 第57页 |
| 5.4.2 计算全息图制作误差 | 第57-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 研究工作总结 | 第61-62页 |
| 6.2 展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文及参加学术会议 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |