电容式加速度传感器检测电路的设计与研究

摘要	第3-4页
Abstract	第4页
第一章 引言	第5-11页
第一节 MEMS系统概述	第5-6页
第二节 MEMS加工工艺	第6-7页
第三节 MEMS加速度传感器	第7-10页
第四节 电容式加速度传感器的检测电路	第10页
第五节 论文主要内容	第10-11页
第二章 电容式加速度传感器检测原理	第11-19页
第一节 电容式加速度传感器基本原理	第11页
第二节 MEMS电容类型	第11-14页
第三节 MEMS电容检测电路分类	第14-18页
第四节 检测电路的基本要求	第18-19页
第三章 电容式加速度传感器检测电路设计	第19-37页
第一节 系统总体方案	第19-20页
第二节 前置放大电路的设计	第20-23页
第三节 带通滤波与交流放大设计	第23-28页
第四节 相敏检波电路的设计	第28-33页
第五节 低通滤波电路的设计	第33-36页
第六节 系统总图	第36-37页
第四章 检测电路仿真与分析	第37-50页
第一节 前置放大电路	第37-39页
第二节 带通滤波与交流放大电路	第39-41页
第三节 乘法器检波电路	第41-43页
第四节 低通滤波电路	第43-47页
第五节 系统仿真结果	第47-48页
第六节 结果分析	第48-49页
第七节 结论	第49-50页
第五章 结论与展望	第50-51页
参考文献	第51-53页
致谢	第53-54页