| 摘要 | 第6-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 硬质膜概述 | 第12-13页 |
| 1.2 基于Cr系的氮化物硬质膜研究现状 | 第13-16页 |
| 1.2.1 CrAlN硬质膜 | 第14页 |
| 1.2.2 CrAlYN硬质膜 | 第14-16页 |
| 1.2.3 CrAlSiN硬质膜 | 第16页 |
| 1.3 Cr系氮化物硬质膜高温抗氧化行为 | 第16-17页 |
| 1.4 物理气相沉积 | 第17-18页 |
| 1.5 溅射镀膜 | 第18-20页 |
| 1.6 论文研究的目的、意义和内容 | 第20-21页 |
| 1.6.1 研究目的 | 第20页 |
| 1.6.2 研究意义 | 第20页 |
| 1.6.3 研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 实验方案 | 第21-31页 |
| 2.1 技术路线 | 第21页 |
| 2.2 实验材料 | 第21-22页 |
| 2.2.1 基体 | 第21-22页 |
| 2.2.2 靶材 | 第22页 |
| 2.3 实验设备及工艺参数 | 第22-26页 |
| 2.3.1 镀膜设备 | 第22-24页 |
| 2.3.2 镀膜工艺参数 | 第24页 |
| 2.3.3 高温热处理设备 | 第24-26页 |
| 2.3.4 热处理工艺 | 第26页 |
| 2.4 性能检测设备 | 第26-31页 |
| 2.4.1 硬度模量测试 | 第26-27页 |
| 2.4.2 膜层形貌观察和成分分析 | 第27-28页 |
| 2.4.3 表面粗糙度测试 | 第28-29页 |
| 2.4.4 膜层物相分析 | 第29-31页 |
| 第3章 CrAlYN薄膜的成分结构和硬度 | 第31-39页 |
| 3.1 预处理后的基体 | 第31-32页 |
| 3.2 膜层厚度的测量 | 第32-33页 |
| 3.3 Y含量对CrAlYN薄膜表面形貌和成分的影响 | 第33-35页 |
| 3.4 Y含量对CrAlYN薄膜物相结构的影响 | 第35-36页 |
| 3.5 Y含量对CrAlYN薄膜硬度和模量的影响 | 第36-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 第4章 CrAlYN薄膜的高温抗氧化性能 | 第39-49页 |
| 4.1 CrAlYN膜层800℃大气氧化后的表面形貌和元素组成 | 第39-41页 |
| 4.2 CrAlYN膜层800℃大气氧化后的物相分析 | 第41页 |
| 4.3 CrAlYN膜层900℃大气氧化后的表面形貌和元素组成 | 第41-43页 |
| 4.4 CrAlYN膜层900℃大气氧化后的物相分析 | 第43-44页 |
| 4.5 CrAlYN膜层氧化物成分分析 | 第44-45页 |
| 4.6 CrAlYN氧化行为与硬度模量的关系 | 第45-47页 |
| 4.7 本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 CrAlSiN的成分结构和性能 | 第49-55页 |
| 5.1 Si含量对CrAlSiN薄膜化学组成及硬度模量的影响 | 第49-50页 |
| 5.2 CrAlSiN薄膜氧化后的相组成 | 第50-52页 |
| 5.3 CrAlSiN薄膜氧化后的表面形貌及元素组成 | 第52-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第6章 CrAlSiYN薄膜的成分结构和性能 | 第55-64页 |
| 6.1 CrAlSiYN膜层的硬度模量 | 第55-56页 |
| 6.2 CrAlSiYN膜层的成分组成 | 第56-59页 |
| 6.3 CrAlSiYN薄膜氧化后的表面形貌及元素组成 | 第59-61页 |
| 6.4 CrAlSiYN薄膜真空热处理后的表面形貌及元素组成 | 第61-62页 |
| 6.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
