| 摘要 | 第6-8页 |
| abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 过渡金属氮化物硬质薄膜概述 | 第13-15页 |
| 1.1.1 过渡金属氮化物薄膜晶体结构 | 第13页 |
| 1.1.2 过渡金属氮化物薄膜的特性 | 第13-15页 |
| 1.2 纳米周期膜的定义、结构及特性 | 第15页 |
| 1.3 纳米周期膜致硬机理 | 第15-17页 |
| 1.4 纳米周期膜研究进展 | 第17-21页 |
| 1.4.1 早期纳米周期膜的探索及相关理论的提出 | 第17-19页 |
| 1.4.2 近期纳米周期膜的研究进展 | 第19-21页 |
| 1.5 磁控溅射制备纳米周期膜技术 | 第21-23页 |
| 1.6 纳米周期膜研究中现存的问题 | 第23页 |
| 1.7 研究内容及意义 | 第23-24页 |
| 1.7.1 研究内容 | 第23页 |
| 1.7.2 研究意义 | 第23-24页 |
| 1.8 本章小结 | 第24-25页 |
| 第2章 周期膜层的制备及检测 | 第25-35页 |
| 2.1 研究目的 | 第25页 |
| 2.2 磁控溅射膜层的制备工艺 | 第25-29页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第25-26页 |
| 2.2.2 实验材料的选择及预处理 | 第26-27页 |
| 2.2.3 膜层结构设计 | 第27-28页 |
| 2.2.4 薄膜的制备 | 第28-29页 |
| 2.3 组织结构的检测 | 第29-30页 |
| 2.3.1 掠入射式X射线衍射 | 第29-30页 |
| 2.3.2 X射线小角反射 | 第30页 |
| 2.4 表面形貌检测 | 第30-31页 |
| 2.5 膜层成分检测 | 第31页 |
| 2.6 力学性能检测 | 第31-34页 |
| 2.6.1 硬度 | 第31-32页 |
| 2.6.2 抵抗塑性变形能力H~3/E~(*2) | 第32页 |
| 2.6.3 韧性 | 第32-34页 |
| 2.7 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 CrAlN/AlN纳米周期膜实验结果及分析 | 第35-49页 |
| 3.1 CrAlN、AlN沉积速率标定 | 第35-36页 |
| 3.2 成分分析 | 第36页 |
| 3.3 表面形貌分析 | 第36-38页 |
| 3.4 相结构分析 | 第38-40页 |
| 3.5 力学性能分析 | 第40-44页 |
| 3.5.1 硬度与弹性模量 | 第40-42页 |
| 3.5.2 抵抗塑性变形能力H~3/E~(*2) | 第42页 |
| 3.5.3 韧性 | 第42-44页 |
| 3.6 CrAlN/AlN纳米周期膜结构 | 第44-48页 |
| 3.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 CrAlN/VN纳米周期膜实验结果及分析 | 第49-62页 |
| 4.1 CrAlN/VN沉积速率标定 | 第49-50页 |
| 4.2 成分分析 | 第50-51页 |
| 4.3 表面形貌分析 | 第51-52页 |
| 4.4 相结构分析 | 第52-53页 |
| 4.5 力学性能分析 | 第53-57页 |
| 4.5.1 硬度与弹性模量 | 第53-55页 |
| 4.5.2 抵抗塑性变形能力H~3/E~(*2) | 第55-56页 |
| 4.5.3 韧性 | 第56-57页 |
| 4.6 CrAlN/VN纳米周期膜结构分析 | 第57-60页 |
| 4.7 本章小结 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |