柔性声表面波温度传感技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 声表面波技术的国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第11-13页 |
| 2 声表面波温度传感器理论 | 第13-25页 |
| 2.1 声表面波理论 | 第13-17页 |
| 2.1.1 声表面波的传播 | 第13-16页 |
| 2.1.2 半无限厚介质中波的激励 | 第16-17页 |
| 2.2 SAW温度传感原理 | 第17-18页 |
| 2.3 声表面波温度传感器的工作原理 | 第18-21页 |
| 2.3.1 叉指换能器的基本原理与特性 | 第18-19页 |
| 2.3.2 SAW温度传感器基本结构及分类 | 第19-20页 |
| 2.3.3 单端口谐振器 | 第20-21页 |
| 2.4 声表面波压电材料 | 第21-24页 |
| 2.4.1 压电效应及压电材料 | 第21-23页 |
| 2.4.2 压电薄膜 | 第23-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 柔性SAW温度传感关键技术 | 第25-43页 |
| 3.1 柔性压电基底 | 第25-27页 |
| 3.1.1 基底材料选择 | 第25-26页 |
| 3.1.2 压电薄膜的制备方法 | 第26-27页 |
| 3.2 SAW传感器的压电多层膜结构 | 第27-32页 |
| 3.2.1 压电多层介质的声表面波场理论 | 第27-28页 |
| 3.2.2 SAW在压电多层介质中的激励 | 第28-29页 |
| 3.2.3 多层膜的频散特性 | 第29-32页 |
| 3.3 单端口谐振器设计技术 | 第32-41页 |
| 3.3.1 单端口谐振器设计方法 | 第32-35页 |
| 3.3.2 声表面波谐振器的COM模拟 | 第35-38页 |
| 3.3.3 单端口谐振型SAW传感器的参数设计 | 第38-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 4 柔性SAW器件结构及其性能仿真 | 第43-67页 |
| 4.1 柔性SAW器件多层膜结构建模 | 第43-44页 |
| 4.2 柔性SAW器件多层膜结构性能仿真分析 | 第44-52页 |
| 4.2.1 柔性ZnO/PI基底方案的可行性验证 | 第44-47页 |
| 4.2.2 柔性SAW器件的模态振型分析 | 第47-48页 |
| 4.2.3 表面质点振动位移特性分析 | 第48-50页 |
| 4.2.4 电学特性分析 | 第50-52页 |
| 4.3 柔性SAW器件单端口谐振器性能仿真分析 | 第52-60页 |
| 4.3.1 ZnO薄膜厚度分析 | 第52-54页 |
| 4.3.2 叉指电极敷金比分析 | 第54-55页 |
| 4.3.3 Al电极厚度分析 | 第55-56页 |
| 4.3.4 延迟距离分析 | 第56-59页 |
| 4.3.5 叉指对数的影响分析 | 第59-60页 |
| 4.4 柔性SAW传感器温度特性仿真分析 | 第60-63页 |
| 4.5 SAW传感器电-声转换工作特性仿真 | 第63-65页 |
| 4.6 本章小结 | 第65-67页 |
| 5 柔性SAW传感器的制备工艺研究 | 第67-74页 |
| 5.1 磁控溅射制备压电薄膜 | 第67-68页 |
| 5.2 光刻 | 第68-72页 |
| 5.2.1 旋涂光刻胶及软烘 | 第69-71页 |
| 5.2.2 曝光和显影 | 第71页 |
| 5.2.3 硬烘焙、刻蚀及去胶检查 | 第71-72页 |
| 5.3 柔性SAW传感器制作的工艺流程 | 第72-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 6 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 论文总结 | 第74页 |
| 6.2 展望 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 附录 | 第82页 |
