摘要 | 第5-7页 |
abstract | 第7-8页 |
第一章 绪论 | 第11-27页 |
1.1 引言 | 第11页 |
1.2 气体传感器简介 | 第11-14页 |
1.2.1 气体传感器的特性 | 第11-12页 |
1.2.2 气体传感器的分类 | 第12-13页 |
1.2.3 气体传感器的发展方向 | 第13-14页 |
1.3 纳米碳基气体传感器简介 | 第14-25页 |
1.3.1 碳纳米管在气体传感器中的应用 | 第14-17页 |
1.3.2 石墨烯在气体传感器中的应用 | 第17-22页 |
1.3.3 石墨烯纳米带在气体传感器中的应用 | 第22-25页 |
1.4 本论文的研究工作 | 第25-27页 |
第二章 实验方法和表征 | 第27-31页 |
2.1 样品的制备 | 第27-28页 |
2.1.1 石墨烯纳米带(GNRs)的制备 | 第27页 |
2.1.2 抽滤转印法制备GNRs薄膜和GNRs/二氧化硅/硅异质结结构 | 第27-28页 |
2.2 常用的样品表征方法 | 第28-29页 |
2.3 电学性质测试 | 第29页 |
2.4 传感器的气体敏感性测试 | 第29-31页 |
第三章 石墨烯纳米带/二氧化硅/硅异质结的氨气敏感特性 | 第31-43页 |
3.1 引言 | 第31-33页 |
3.2 实验过程 | 第33-35页 |
3.2.1 主要原料 | 第33页 |
3.2.2 实验仪器 | 第33页 |
3.2.3 实验过程 | 第33-35页 |
3.3 实验结果与讨论 | 第35-41页 |
3.3.1 GNRs薄膜的结构表征 | 第35-36页 |
3.3.2 GNRs薄膜传感器的氨气敏感性能测试 | 第36-38页 |
3.3.3 基于GNRs/SiO_2/p-Si结构传感器的氨气敏感性能测试 | 第38-39页 |
3.3.4 基于聚苯胺修饰GNRs/SiO_2/p-Si结构传感器的氨气敏感性能测试 | 第39-41页 |
3.4 本章小结 | 第41-43页 |
第四章 钯纳米颗粒修饰石墨烯纳米带/二氧化硅/硅异质结的氢气敏感特性 | 第43-56页 |
4.1 引言 | 第43-44页 |
4.2 实验过程 | 第44-46页 |
4.2.1 主要原料 | 第44页 |
4.2.2 实验仪器 | 第44-45页 |
4.2.3 实验过程 | 第45-46页 |
4.3 实验结果与讨论 | 第46-54页 |
4.3.1 Pd-GNRs材料的合成与表征 | 第46-48页 |
4.3.2 Pd-GNRs薄膜传感器的氢气敏感性能测试 | 第48-51页 |
4.3.3 基于Pd-GNRs/SiO_2/p-Si结构传感器的氢气敏感性能测试 | 第51-54页 |
4.4 本章小结 | 第54-56页 |
结论 | 第56-58页 |
参考文献 | 第58-67页 |
攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第67-70页 |
致谢 | 第70页 |