| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第10-13页 |
| 1.2.1 精密定位的分类 | 第11-12页 |
| 1.2.2 基于精密光栅的定位测量系统分类 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外大行程纳米级定位系统的研究现状 | 第13-19页 |
| 1.4 国内外衍射光栅干涉测量系统的研究现状 | 第19-23页 |
| 1.5 研究内容和结构安排 | 第23-26页 |
| 1.5.1 课题来源及研究内容 | 第23-24页 |
| 1.5.2 论文结构安排 | 第24-26页 |
| 第二章 光栅干涉相位移动扫描位移测量机理 | 第26-35页 |
| 2.1 概述 | 第26-27页 |
| 2.2 光栅干涉相位移动扫描位移测量基本原理 | 第27-34页 |
| 2.2.1 光栅衍射原理 | 第27-28页 |
| 2.2.2 衍射光栅的多普勒效应 | 第28-29页 |
| 2.2.3 光栅干涉原理 | 第29-31页 |
| 2.2.4 相位扫描原理 | 第31-32页 |
| 2.2.5 相位移动扫描原理 | 第32-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 基于干涉相位移动扫描的超精密定位测量系统 | 第35-46页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 光栅干涉测量系统的设计原则 | 第35-36页 |
| 3.3 光栅干涉测量系统 | 第36-38页 |
| 3.3.1 光源 | 第37-38页 |
| 3.3.2 光电探测器 | 第38页 |
| 3.4 条纹移相系统 | 第38-41页 |
| 3.4.1 条纹移相装置 | 第38-39页 |
| 3.4.2 条纹移相过程 | 第39-41页 |
| 3.5 精密定位运动系统 | 第41-44页 |
| 3.5.1 精密定位运动平台的选择 | 第41-42页 |
| 3.5.2 运动控制器 | 第42-44页 |
| 3.6 信号采集系统 | 第44-45页 |
| 3.7 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 超精密定位控制系统设计及其测控软件实现 | 第46-64页 |
| 4.1 控制系统设计 | 第46-51页 |
| 4.1.1 控制任务分析 | 第46-47页 |
| 4.1.2 控制方法选择 | 第47-48页 |
| 4.1.3 经典PID控制原理 | 第48-49页 |
| 4.1.4 增量式PID控制原理 | 第49-51页 |
| 4.2 定位过程分析 | 第51页 |
| 4.3 控制系统的软件实现 | 第51-58页 |
| 4.3.1 VC++多线程 | 第52-56页 |
| 4.3.2 基于MSComm控件编程的串口通信 | 第56-58页 |
| 4.4 控制系统软件设计 | 第58-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 基于光栅干涉相位移动扫描方法的超精密定位测量系统性能实验与误差分析 | 第64-77页 |
| 5.1 引言 | 第64页 |
| 5.2 精密定位实验台的搭建 | 第64-70页 |
| 5.2.1 光栅干涉测量系统关键元件 | 第65-67页 |
| 5.2.2 条纹移相系统关键元件 | 第67-68页 |
| 5.2.3 精密定位运动系统关键元件 | 第68-70页 |
| 5.3 精密定位系统实验研究 | 第70-74页 |
| 5.3.1 光栅干涉测量系统功能测试实验 | 第70-71页 |
| 5.3.2 条纹移相系统性能测试实验 | 第71-72页 |
| 5.3.3 精密定位运动系统性能测试实验 | 第72-73页 |
| 5.3.4 超精密位置测量系统性能测试实验 | 第73-74页 |
| 5.4 实验结果与误差分析 | 第74-76页 |
| 5.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 结论与展望 | 第77-79页 |
| 6.1 全文总结 | 第77页 |
| 6.2 创新点 | 第77-78页 |
| 6.3 展望 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第83-85页 |