| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 注释表 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 固结磨料研磨抛光技术 | 第15-18页 |
| 1.2.1 固结磨粒研磨抛光技术基本原理 | 第15-16页 |
| 1.2.2 固结磨料研磨抛光技术分类 | 第16-18页 |
| 1.3 亲水性固结磨料研磨抛光技术 | 第18-20页 |
| 1.3.1 亲水性固结磨料研磨抛光技术原理 | 第18-19页 |
| 1.3.2 亲水性固结磨料研磨抛光垫制备方法 | 第19-20页 |
| 1.4 亲水性固结磨料研磨抛光垫自修整性能 | 第20-23页 |
| 1.4.1 亲水性固结磨料研磨抛光垫自修整性能实现机理 | 第20-21页 |
| 1.4.2 亲水性固结磨料研磨抛光垫自修整性能研究现状 | 第21-22页 |
| 1.4.3 亲水性固结磨料研磨抛光垫自修整性能的探索 | 第22-23页 |
| 1.5 本课题开展的主要研究内容及方法 | 第23-25页 |
| 第二章 亲水性固结磨料研磨垫自修整性能影响因素探索 | 第25-41页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 亲水性FAP自修整性能实现机理 | 第25-28页 |
| 2.2.1 亲水性FAP的自修整过程 | 第25-26页 |
| 2.2.2 亲水性FAP自修整性能的影响因素 | 第26-28页 |
| 2.3 亲水性FAP自修整性能影响因素的试验探索 | 第28-32页 |
| 2.3.1 试验设备及试剂 | 第29页 |
| 2.3.2 亲水性FAP的制备流程 | 第29-30页 |
| 2.3.3 研磨试验 | 第30-31页 |
| 2.3.4 研磨试验的评价指标及测量方法 | 第31-32页 |
| 2.4 试验结果与分析 | 第32-39页 |
| 2.4.1 材料特性对MRR变化趋势的影响 | 第32-33页 |
| 2.4.2 研磨压力对MRR变化趋势的影响 | 第33-35页 |
| 2.4.3 金刚石粒径对MRR变化趋势的影响 | 第35-36页 |
| 2.4.4 FAP中铜粉含量对MRR变化趋势的影响 | 第36-37页 |
| 2.4.5 研磨液中TEA含量对MRR变化趋势的影响 | 第37-38页 |
| 2.4.6 孔隙率对MRR变化趋势的影响 | 第38-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 亲水性固结磨料研磨垫自修整性能定量研究 | 第41-58页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 回归正交试验设计 | 第41-45页 |
| 3.2.1 影响因素及水平的选择 | 第41-43页 |
| 3.2.2 因素水平的编码 | 第43页 |
| 3.2.3 研磨试验设计 | 第43-44页 |
| 3.2.4 研磨试验的评价指标及测量方法 | 第44-45页 |
| 3.3 亲水性FAP自修整性能回归方程建立 | 第45-51页 |
| 3.3.1 回归正交试验结果 | 第45-46页 |
| 3.3.2 求回归方程 | 第46页 |
| 3.3.3 回归方程显著性分析 | 第46-48页 |
| 3.3.4 回归方程失拟性检验 | 第48页 |
| 3.3.5 回归方程分析 | 第48-51页 |
| 3.4 磨屑对亲水性FAP自修整性能的影响 | 第51-57页 |
| 3.4.1 亲水性FAP研磨过程中磨屑尺寸变化 | 第52-53页 |
| 3.4.2 材料特性对磨屑形貌尺寸的影响 | 第53-54页 |
| 3.4.3 孔隙率对磨屑形貌尺寸的影响 | 第54-56页 |
| 3.4.4 研磨压力对磨屑形貌的影响 | 第56-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 工艺参数对亲水性FAP自修整过程及加工表面质量的影响 | 第58-71页 |
| 4.1 引言 | 第58页 |
| 4.2 正交试验设计 | 第58-60页 |
| 4.2.1 工件材料的选择 | 第58页 |
| 4.2.2 影响因素水平的选择 | 第58-59页 |
| 4.2.3 研磨试验设计 | 第59-60页 |
| 4.2.4 研磨评价指标及测量方法 | 第60页 |
| 4.3 各因素对研磨过程的影响 | 第60-69页 |
| 4.3.1 正交试验结果 | 第60-61页 |
| 4.3.2 各因素对材料去除速率的影响 | 第61-63页 |
| 4.3.3 各因素对亲水性FAP自修整性能的影响 | 第63-66页 |
| 4.3.4 各因素对表面粗糙度的影响 | 第66-68页 |
| 4.3.5 研磨工艺参数的优化及验证 | 第68-69页 |
| 4.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 总结 | 第71-72页 |
| 5.2 本论文的创新点 | 第72页 |
| 5.3 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 在校期间的科研成果及发表的学术论文 | 第79页 |
