| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 透明导电膜的发展及分类 | 第12-13页 |
| 1.2 ZnO基透明导电薄膜 | 第13-15页 |
| 1.3 TiO_2基透明导电薄膜 | 第15-16页 |
| 1.4 D/M/D结构透明导电薄膜 | 第16页 |
| 1.5 Ag基复合膜的特点 | 第16-17页 |
| 1.6 透明导电膜的应用 | 第17-18页 |
| 1.7 透明导电膜的制备方法 | 第18-21页 |
| 1.7.1 真空蒸发镀膜 | 第18-19页 |
| 1.7.2 溅射镀膜 | 第19页 |
| 1.7.3 化学气相沉积 | 第19-20页 |
| 1.7.4 溶胶-凝胶法 | 第20页 |
| 1.7.5 喷涂热分解法 | 第20页 |
| 1.7.6 脉冲激光沉积 | 第20-21页 |
| 1.8 非晶合金薄膜的形成 | 第21-22页 |
| 1.9 课题研究意义及主要内容 | 第22-24页 |
| 第2章 实验及表征方法 | 第24-29页 |
| 2.1 实验材料与设备 | 第24-25页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第24页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第24-25页 |
| 2.2 实验流程 | 第25-27页 |
| 2.2.1 基片的处理 | 第26页 |
| 2.2.2 真空室的准备 | 第26页 |
| 2.2.3 抽真空过程 | 第26页 |
| 2.2.4 预溅射过程 | 第26页 |
| 2.2.5 溅射镀膜过程 | 第26-27页 |
| 2.2.6 取件过程 | 第27页 |
| 2.2.7 低真空保护过程 | 第27页 |
| 2.3 性能检测 | 第27-29页 |
| 2.3.1 薄膜透过率 | 第27页 |
| 2.3.2 薄膜方阻 | 第27页 |
| 2.3.3 薄膜表面形貌 | 第27-28页 |
| 2.3.4 薄膜的表面粗糙度 | 第28-29页 |
| 第3章 复合膜的光学计算 | 第29-33页 |
| 第4章 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO光学和电学性能研究 | 第33-45页 |
| 4.1 Zr-Cu厚度对AZO/Zr-Cu/Cu/AZO复合膜光学特性的影响 | 第34-36页 |
| 4.2 Cu膜厚度对AZO/Zr-Cu/Cu/AZO复合膜光学特性的影响 | 第36-37页 |
| 4.3 Zr-Cu 溅射电流大小对 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO 复合膜光学特性的影响 | 第37-38页 |
| 4.4 AZO 厚度对 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO 复合膜光学特性的影响 | 第38-40页 |
| 4.5 试片部位对AZO/Zr-Cu/Cu/AZO复合膜光学特性的影响 | 第40-42页 |
| 4.6 溅射靶位置对AZO/Zr-Cu/Cu/AZO复合膜光学特性的影响 | 第42-43页 |
| 4.7 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO薄膜的表征 | 第43-44页 |
| 4.8 本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 AZO/Zr-Cu/Ag/AZO光学和电学性能研究 | 第45-54页 |
| 5.1 Zr-Cu厚度对AZO/Zr-Cu/Ag/AZO复合膜光电特性的影响 | 第45-47页 |
| 5.2 AZO厚度对AZO/Ag/AZO复合膜光电特性的影响 | 第47-49页 |
| 5.3 Ag厚度对AZO/Ag/AZO复合膜光电特性的影响 | 第49-50页 |
| 5.4 Ag厚度对AZO/Zr-Cu/Ag/AZO复合膜光电特性的影响 | 第50-51页 |
| 5.5 试片部位对AZO/Zr-Cu/Ag/AZO复合膜光电特性的影响 | 第51-53页 |
| 5.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 AZO/Al-Ag/Ag/AZO光学和电学性能研究 | 第54-57页 |
| 6.1 Al厚度对AZO/Al-Ag/Ag/AZO复合膜光电特性的影响 | 第54-55页 |
| 6.2 AZO厚度对AZO/Al-Ag/Ag/AZO复合膜光电特性的影响 | 第55-56页 |
| 6.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第7章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 7.1 本文总结 | 第57-58页 |
| 7.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第64页 |
