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基于介质材料的超构表面的设计与实现

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-25页
    1.1 课题背景及研究意义第9-10页
    1.2 超材料的研究与发展第10-15页
    1.3 超构表面的研究现状第15-23页
        1.3.1 国内超构表面的研究状况第16-17页
        1.3.2 国外超构表面的研究情况第17-23页
    1.4 本论文主要研究工作第23-25页
第2章 介质材料的谐振理论分析第25-34页
    2.1 介质材料的米氏谐振分析第25-27页
    2.2 介质天线多极散射理论分析第27-30页
    2.3 硅天线谐振的数值仿真分析第30-33页
    2.4 本章小结第33-34页
第3章 基于硅天线的功能超构表面设计与实现第34-58页
    3.1 几何结构参数对硅天线散射特性影响分析第34-42页
        3.1.1 单元结构各个功能层厚度影响分析第34-38页
        3.1.2 单元结构周期对散射波调控的数值分析第38-40页
        3.1.3 硅天线的长和宽对散射波调控的数值分析第40-42页
    3.2 基于硅天线的偏振转换器与异常反射设计实现第42-49页
        3.2.1 基于硅天线的偏振转换器超构表面第42-44页
        3.2.2 基于硅天线的异常反射超构表面第44-49页
    3.3 基于硅天线的平面透镜超构表面设计与实现第49-54页
    3.4 可动态调控平面透镜超构表面设计与实现第54-57页
    3.5 本章小结第57-58页
第4章 超构表面的实验样品制备第58-67页
    4.1 超构表面实验样品制备流程第58-59页
    4.2 电子束蒸镀制备薄膜与光学性质测量第59-62页
        4.2.1 制备功能层薄膜的主要流程第59-60页
        4.2.2 不同硅薄膜样品的光学参数测量第60-62页
    4.3 电子束曝光技术制备图案掩膜第62-64页
    4.4 感应等离子体反应离子刻蚀制备超构表面结构第64-66页
    4.5 本章小结第66-67页
结论第67-68页
参考文献第68-72页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果第72-74页
致谢第74页

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