| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 引言 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 我国的资源与环境问题现状 | 第10页 |
| 1.1.2 纳米产业与可持续发展 | 第10-11页 |
| 1.2 研究现状和发展趋势 | 第11-16页 |
| 1.2.1 基于物耗能效分析的纳米制造过程环境可持续性研究 | 第11-13页 |
| 1.2.2 基于生命周期评价方法的纳米制造过程环境可持续性研究 | 第13-14页 |
| 1.2.3 基于情景分析的纳米制造过程环境可持续性研究 | 第14-15页 |
| 1.2.4 其他可持续性研究方法 | 第15-16页 |
| 1.3 本文研究内容及结构 | 第16-18页 |
| 2 LPCVD方法制备纳米TiO_2薄膜的基本理论 | 第18-29页 |
| 2.1 化学气相沉积原理概述 | 第18-21页 |
| 2.1.1 化学气相沉积 | 第18-19页 |
| 2.1.2 化学气相沉积模型 | 第19-21页 |
| 2.2 低压化学气相沉积 | 第21-24页 |
| 2.2.1 低压化学气相沉积原理 | 第21-22页 |
| 2.2.2 低压化学气相沉积装置 | 第22-24页 |
| 2.3 薄膜制备过程的相关理论 | 第24-27页 |
| 2.3.1 流体运输的基础理论 | 第24-26页 |
| 2.3.2 流体运输的流动状态 | 第26页 |
| 2.3.3 化学反应过程中的能量和物料平衡 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 3 LPCVD制备纳米TiO_2能耗物耗分析 | 第29-42页 |
| 3.1 运载气体的运动模型 | 第29-33页 |
| 3.1.1 运动模型的建立 | 第29-31页 |
| 3.1.2 模型参数的求解 | 第31-33页 |
| 3.2 薄膜沉积进度模型 | 第33-35页 |
| 3.2.1 前驱体浓度函数建立 | 第33-35页 |
| 3.2.2 薄膜沉积进度模型建立及参数求解 | 第35页 |
| 3.3 前驱体利用率分析 | 第35-36页 |
| 3.4 LPCVD系统能效分析 | 第36-40页 |
| 3.4.1 系统总能耗E_(Input) | 第37-38页 |
| 3.4.2 有效能耗E_(Useful) | 第38-40页 |
| 3.4.3 能量利用率分析 | 第40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 4 纳米TiO_2薄膜的生命周期评价 | 第42-51页 |
| 4.1 目标定义与范围界定 | 第42页 |
| 4.1.1 研究对象和研究目标 | 第42页 |
| 4.1.2 功能单元和系统边界 | 第42页 |
| 4.2 生命周期清单分析 | 第42-45页 |
| 4.2.1 工艺物流分析 | 第42-43页 |
| 4.2.2 清单数据来源 | 第43-45页 |
| 4.3 生命周期影响评价 | 第45-48页 |
| 4.3.1 生命周期影响评价模型 | 第45页 |
| 4.3.2 分类和特征化 | 第45-47页 |
| 4.3.3 标准化和加权 | 第47-48页 |
| 4.4 基于不同LPCVD工艺参数的LCIA对比 | 第48-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 LPCVD法生产TiO_2薄膜的能耗及碳排放预测 | 第51-59页 |
| 5.1 产量估算 | 第51-54页 |
| 5.1.1 情景设定 | 第52-53页 |
| 5.1.2 产量估算 | 第53-54页 |
| 5.2 结果讨论 | 第54-57页 |
| 5.2.1 能耗预测 | 第54-55页 |
| 5.2.2 碳排放预测 | 第55-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-59页 |
| 6 结论与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 主要结论 | 第59-60页 |
| 6.2 本研究的特色与创新 | 第60页 |
| 6.3 研究展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 附录 几种工艺条件下纳米TiO_2薄膜生命周期评价数据 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
