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脉冲激光模拟SRAM单粒子效应的试验研究

致谢第5-7页
摘要第7-9页
Abstract第9-11页
1 绪论第22-42页
    1.1 空间辐射环境第22-25页
        1.1.1 地球辐射带第22-24页
        1.1.2 银河宇宙线第24-25页
        1.1.3 太阳宇宙线第25页
    1.2 空间辐射效应第25-27页
        1.2.1 总剂量效应第26页
        1.2.2 单粒子效应第26-27页
    1.3 单粒子效应地面模拟试验第27-32页
        1.3.1 重离子第28-30页
        1.3.2 质子和中子第30-32页
        1.3.3 锎源和a源第32页
        1.3.4 脉冲激光第32页
    1.4 单粒子效应仿真研究第32-35页
        1.4.1 单粒子效应在轨评估仿真第33页
        1.4.2 单粒子效应器件仿真第33-35页
    1.5 脉冲激光模拟单粒子效应研究及存在问题第35-40页
        1.5.1 脉冲激光模拟单粒子效应的研究第35-38页
        1.5.2 存在的问题第38-40页
    1.6 本文研究工作及组织结构第40-42页
2 脉冲激光模拟单粒子效应试验装置及方法第42-54页
    2.1 脉冲激光模拟单粒子效应试验装置第42-47页
        2.1.1 脉冲激光试验系统第42-43页
        2.1.2 单粒子效应检测硬件第43-46页
        2.1.3 单粒子效应检测软件第46-47页
    2.2 器件预处理方法第47-51页
    2.3 脉冲激光模拟单粒子效应试验基本方法第51-54页
        2.3.1 激光背部辐照聚焦深度的确定第51-52页
        2.3.2 单粒子效应截面的测试第52-54页
3 脉冲激光模拟单粒子效应机理和等效LET计算第54-74页
    3.1 脉冲激光、重离子与Si材料相互作用第54-62页
        3.1.1 重离子与Si材料的相互作用第54-55页
        3.1.2 脉冲激光与Si材料的相互作用第55-56页
        3.1.3 脉冲激光与重离子模拟单粒子效应物理过程的异同第56-62页
    3.2 脉冲激光辐照器件的能量传输模型第62-70页
        3.2.1 激光正面入射辐照器件能量传输模型第62-67页
        3.2.2 激光背部入射辐照器件能量传输模型第67-70页
    3.3 脉冲激光能量等效重离子LET计算第70-73页
        3.3.1 脉冲激光能量与重离子LET等效的依据第70页
        3.3.2 激光能量等效重离子LET计算第70-71页
        3.3.3 单粒子闩锁效应脉冲激光能量等效重离子LET计算和试验第71-73页
    3.4 小结第73-74页
4 脉冲激光定位SEE敏感区技术第74-89页
    4.1 脉冲激光定位SEE敏感区基本试验技术第74-78页
        4.1.1 脉冲激光定位SEE敏感区试验系统与方法第74-76页
        4.1.2 激光定位SEE敏感区的分辨率第76-78页
    4.2 180nm工艺SRAM SEU敏感区的激光定位试验第78-83页
        4.2.1 测试器件与试验条件第79页
        4.2.2 定位试验结果第79-82页
        4.2.3 结果分析及讨论第82-83页
    4.3 180nm工艺SRAM SEU敏感性的TCAD仿真第83-87页
        4.3.1 3D器件模型第83-84页
        4.3.2 TCAD仿真第84-85页
        4.3.3 仿真结果及分析第85-87页
    4.4 小结第87-89页
5 SEU敏感区的激光定位试验研究第89-97页
    5.1 试验方案第89-90页
        5.1.1 测试器件第89-90页
        5.1.2 激光试验条件第90页
    5.2 试验结果及分析第90-94页
        5.2.1 激光正面辐照第90-91页
        5.2.2 激光背部辐照第91-93页
        5.2.3 结果分析第93-94页
    5.3 激光SEU截面与重离子SEU截面的对比第94-96页
        5.3.1 激光测试SEU截面第94-95页
        5.3.2 重离子测试SEU截面第95-96页
    5.4 小结第96-97页
6 SEL敏感区的激光定位试验研究第97-104页
    6.1 试验方案第97-98页
        6.1.1 测试器件第97页
        6.1.2 试验条件第97-98页
    6.2 试验结果第98-100页
        6.2.1 SRAM K6R4016V1D试验结果第98-99页
        6.2.2 LCD控制器件MAXQ2000 试验结果第99-100页
    6.3 SEL敏感区定位结果讨论第100-102页
        6.3.1 SEL重离子测试第100-102页
        6.3.2 SEL频次在轨预估第102页
    6.4 小结第102-104页
7 基于脉冲激光定位SRAM敏感区的单粒子闩锁在轨预估第104-119页
    7.1 理论计算第105-106页
        7.1.1 敏感体积单元数量对粒子能量沉积的影响第105页
        7.1.2 敏感体积单元数量对SEL频次的影响第105-106页
    7.2 激光定位试验第106-109页
        7.2.1 测试器件及试验条件第106-107页
        7.2.2 激光定位测试第107-109页
    7.3 SEL频次计算第109-116页
        7.3.1 SEL频次计算条件第109-110页
        7.3.2 SSO SEL频次第110-114页
        7.3.3 GEO SEL频次第114-116页
    7.4 结果讨论第116-117页
        7.4.1 SV数量vs重离子SEL频次第116页
        7.4.2 SV数量vs质子SEL频次第116-117页
    7.5 小结第117-119页
8 CMOS SRAM单粒子闩锁防护方法试验研究第119-130页
    8.1 单粒子闩锁效应机理第119-121页
        8.1.1 CMOS的寄生PNPN结构第119-120页
        8.1.2 闩锁效应的触发第120-121页
    8.2 单粒子闩锁效应激光试验第121-124页
        8.2.1 测试器件第121页
        8.2.2 SEL阈值和截面测试第121-122页
        8.2.3 SEL阈值和截面测试结果第122-124页
    8.3 单粒子闩锁防护方法第124-126页
        8.3.1 电阻限流第124-125页
        8.3.2 恒流源限流第125页
        8.3.3 断电解除闩锁第125-126页
    8.4 电路级闩锁防护方法试验第126-129页
        8.4.1 电阻限流第126-127页
        8.4.2 恒流源限流第127页
        8.4.3 断电解除闩锁第127-129页
    8.5 小结第129-130页
9 总结与展望第130-133页
    9.1 总结第130-131页
    9.2 展望第131-133页
参考文献第133-144页
作者简介及发表论文第144-145页

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