| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 基于双梁结构的石英振梁加速度计的基础研究 | 第15-33页 |
| 2.1 压电石英晶体的特性 | 第15-17页 |
| 2.1.1 石英晶体的压电特性 | 第16页 |
| 2.1.2 石英谐振梁的振动模式 | 第16-17页 |
| 2.1.3 石英晶体切型的选择 | 第17页 |
| 2.2 石英振梁加速度计的结构设计 | 第17-22页 |
| 2.2.1 谐振梁结构的设计 | 第18-19页 |
| 2.2.2 底座-质量块结构的设计 | 第19-21页 |
| 2.2.3 谐振梁结构尺寸的优化 | 第21页 |
| 2.2.4 底座-质量块结构尺寸的优化 | 第21-22页 |
| 2.3 有限元仿真结果分析 | 第22-29页 |
| 2.3.1 有限元法及其软件实现 | 第22-23页 |
| 2.3.2 石英振梁加速度计振动模态分析 | 第23-24页 |
| 2.3.3 石英振梁加速度计的灵敏度仿真与结果分析 | 第24-26页 |
| 2.3.4 石英振梁加速度计模型优化后的谐振频率分析 | 第26-27页 |
| 2.3.5 石英振梁加速度计满量程仿真分析 | 第27-29页 |
| 2.4 石英振梁加速度计的微加工工艺 | 第29-32页 |
| 2.4.1 底座-质量块结构的制备 | 第29-30页 |
| 2.4.2 回流焊工艺 | 第30-31页 |
| 2.4.3 石英振梁加速度计的高精度组装 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 石英谐振梁激励电极设计 | 第33-41页 |
| 3.1 宽度弯曲振动模态下的电极图案 | 第33-36页 |
| 3.1.1 表面电极图案的设计 | 第33-35页 |
| 3.1.2 四周电极图案的设计 | 第35-36页 |
| 3.2 双梁振梁的制备 | 第36-40页 |
| 3.2.1 铺设表面电极的振梁制备 | 第36-37页 |
| 3.2.2 铺设四周电极的振梁制备 | 第37-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 高阻抗石英振梁加速度计的谐振电路设计 | 第41-57页 |
| 4.1 石英晶体振荡器基本原理 | 第41-44页 |
| 4.1.1 石英谐振梁特性 | 第41-43页 |
| 4.1.2 石英谐振梁等效电阻分析 | 第43-44页 |
| 4.2 石英振梁加速度计谐振电路的基本原理 | 第44-47页 |
| 4.2.1 石英晶体谐振器振荡电路基本原理 | 第44-45页 |
| 4.2.2 常用石英晶体谐振器振荡电路模型 | 第45-47页 |
| 4.3 高阻抗石英振梁加速度计谐振电路的分析与设计 | 第47-55页 |
| 4.3.1 设计要点分析 | 第47-48页 |
| 4.3.2 PSpice仿真简介 | 第48页 |
| 4.3.3 普通双共射极串联谐振电路分析 | 第48-50页 |
| 4.3.4 对称式石英晶体多谐振荡器 | 第50-52页 |
| 4.3.5 双反相器-双共射极串联谐振电路 | 第52-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 石英振梁加速度计系统的测试与分析 | 第57-67页 |
| 5.1 石英振梁加速度计性能测试 | 第57-62页 |
| 5.1.1 振梁谐振特性测试 | 第57-58页 |
| 5.1.2 常压下加速度计的静态谐振特性测试 | 第58-62页 |
| 5.1.3 测试结果分析与讨论 | 第62页 |
| 5.2 石英振梁加速度计系统性能测试 | 第62-65页 |
| 5.2.1 石英振梁加速度计系统测试平台的搭建 | 第63-64页 |
| 5.2.2 测试结果分析与讨论 | 第64-65页 |
| 5.3 本章小结 | 第65-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-71页 |
| 6.1 总结 | 第67-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 作者简介 | 第77页 |
